三亚洁净车间装修生产厂
发布时间:
2023-03-17 20:14
三亚洁净车间装修生产厂
万级无尘车间:万级无尘车间常用于液压设备或气压设备的组装,在某些情况下也用于食品饮料行业。此外,万级无尘车间也常用于医疗行业。
千级无尘车间:本级无尘车间主要用于生产优质光学产品、测试、装配飞机蛇螺仪、装配优质微轴承等。
由于每种工艺制程设备的发热量大不相同,导致洁净室内的机台发热量分布不均匀。例如炉管机台的发热量相较于其他设备大得多(基本在3-5倍之间),因此在洁净室内用干盘管DCC带走这些热量。通常要求同一制程的气流经过同一组DCC,在建筑已经确定的情况下,制程的分布要与回风道垂直。如果条件允许,好是将不同制程的区域隔开,这样既可避免金属粒子污染,又能提高温湿度控制的稳定性。通常情况下, 洁净室的温湿度控制在22±2℃,45±5%RH,MAU 的送风温度基本控制在21℃-21.5℃,在与循环风混合后,FFU
无尘净化车间内的“5S”运作需确保性和持续性,并由现场管理人员执行区域化定位管理。无尘净化车间的清扫、灭菌。无尘净化车间的清扫一般须在生产工艺结束后进行;如有必要在生产前清扫,则工艺生产在净化空调通风系统开机运行时间达到洁净要求后方可开始进行。为交叉污染,清扫洁净厂房设施均应按产品特点、工序要求、洁净度等级不同分别。清扫工具一般采用集中固定式和便携移动式真空清扫设备。如不具备上述条件,也可采用不掉纤维的材料如丝光毛巾、尼龙布进行擦拭,一般每天1次或数次。工作台及工器具清扫一般每天一次;10~1000级厂房墙壁、地面清扫,一般每周一次,1万~10万级每月一次。净化空调系统每年宜清洗1~2次,并委托专门清扫人员进行。
在半导体无尘车间的建造过程中,除了厂房的主体结构施工外,还有洁净建筑装饰施工、净化空调系统及其风管、过滤器的施工安装、高纯水系统及其管线的安装、高纯气体系统(含特种气体供应等)及其管线安装、真空系统及其管线的安装、化学品供应系统及其管线的安装、各种排风和排气系统及其处理设备的安装、消防报警系统及其控制设备的安装、变配电、电气系统及其桥架、配管配线的安装、照明系统及灯具的安装、防微振装置的安装、生产工艺设备及其配管配线的安装等。还有气源,包括吹干晶圆及机台空压所需要的,都得使用氮气(98%),吹干晶圆的氮气甚至要求99.8%以上的高纯氮。这些都是设计要注意的地方。