宁夏洁净车间设备生产厂
发布时间:
2023-03-21 19:36
宁夏洁净车间设备生产厂
洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。
洁净室温湿度处理基本流程及常见问题洁净室温湿度处理基本流程前摄像头:5.0MP 后摄像头:13.0MP AF半导体洁净室厂房通常采用新风空调箱(Meup Air Unit,MAU)+风机过滤单元(FanFilter Unit,FFU)+干冷盘管(Dry Cooling Coil,DCC)的设计,即新风空调箱MAU将具有一定洁净等级和温湿度的新风送到洁净室的回风通道中,与循环回风进行混合后进入洁净室吊顶上方,通过风机过滤单元FFU
为不干扰室内的洁净气流型式,在作业区上流侧不应放置物品,回风口附近不要堆放物;送风孔板下不应堵塞和堆放物品,生产操作应在洁净工作台或气流的上游进行。不允许将与生产无关的和容易产尘的物品带入洁净室内。严禁在无尘净化车间内吸烟、饮食和进行非生产性活动。进入无尘净化车间前,个人物品须放入指定的柜子,去掉化妆和首饰,换上指定的洁净服、鞋。戴帽时,应将头发遮住,鞋套应将裤脚下摆紧紧裹在鞋套。
出口新风湿度进行调节,将洁净室相对湿度测量值与相对湿度设定值进行比较,由此计算出所需要MAU出口新风相对湿度,其计算过程与温度设定值的计算过程类似,然后配合MAU 出口新风温度设定值,计算出MAU 的出口露点温度设定值, 由此来控制MAU 出口的湿度。实际应用中,通过在洁净室温湿度控制系统中引入模糊控制环节和分程控制环节,发挥模糊控制鲁棒性强、动态响应好、上升时间快、超调小的特点,