东营注塑净化车间装修生产厂家
发布时间:
2023-03-24 18:02
东营注塑净化车间装修生产厂家
开度增大以抵消新风带来的热负荷;如果进入洁净室的新风的温度过低,将使得在DCC开度为零时达到环境温度的要求。根据统计数据,空调系统的能耗占整个半导体厂的能耗的30%-35%,因此对空调设备进行优化控制,选择合理温湿度设定值,对提高整个洁净室温湿度控制的稳定性及具有重要的意义。随着半导体生产工艺的不断发展,更精密、集成度更高是行业发展的趋势。目前,制造工艺已经进入亚纳米时代,对生产设备的精度要求越来越严格,因此,除了设备本身的工艺水平需要达到生产要求以外,其所处的生产环境——洁净室的各项也被严格地控制,包括:洁净度、温湿度、照度、气流方向、振动静电、磁场以及有害气体等。其中的温湿度控制是重点,其控制的效果直接影响着生产的优良率。
为不干扰室内的洁净气流型式,在作业区上流侧不应放置物品,回风口附近不要堆放物;送风孔板下不应堵塞和堆放物品,生产操作应在洁净工作台或气流的上游进行。不允许将与生产无关的和容易产尘的物品带入洁净室内。严禁在无尘净化车间内吸烟、饮食和进行非生产性活动。进入无尘净化车间前,个人物品须放入指定的柜子,去掉化妆和首饰,换上指定的洁净服、鞋。戴帽时,应将头发遮住,鞋套应将裤脚下摆紧紧裹在鞋套。
无尘室,CLEAN-ROOM.就是一个相对密闭的空间,并控制其中的洁净度(一个重要指标就是单位体积空气中的尘埃粒子数),当然有些时候对此环境中的温湿度,压差,照度,噪音等参数也是要控制的.所以,更科学完整的叫法应该叫"受控环境controled environment".
条“if-then”规则,根据这些规则,得出如表1 所示的模糊控制规则表:模糊推理将模糊规则库中的模糊“if-then”规则转换成某种映射,即将输入空间上的模糊集合映射到输出空间上的模糊集合。根据这些规则进行模糊推理得到一个模糊集,即模糊控制量U, 再通过去模糊化环节,将其转化为清晰的数字控制量,达到调节MAU 温度设定的目的。洁净室相对湿度控制洁净室相对湿度的控制则由MAU