扬州洁净车间装修生产厂
发布时间:
2023-03-28 19:53
扬州洁净车间装修生产厂
在半导体无尘车间的建造过程中,除了厂房的主体结构施工外,还有洁净建筑装饰施工、净化空调系统及其风管、过滤器的施工安装、高纯水系统及其管线的安装、高纯气体系统(含特种气体供应等)及其管线安装、真空系统及其管线的安装、化学品供应系统及其管线的安装、各种排风和排气系统及其处理设备的安装、消防报警系统及其控制设备的安装、变配电、电气系统及其桥架、配管配线的安装、照明系统及灯具的安装、防微振装置的安装、生产工艺设备及其配管配线的安装等。还有气源,包括吹干晶圆及机台空压所需要的,都得使用氮气(98%),吹干晶圆的氮气甚至要求99.8%以上的高纯氮。这些都是设计要注意的地方。
百级无尘车间:百级无尘车间可用于间可用于制药行业的无菌制造工艺。这一级别的无尘车间广泛应用于植入物的制造,如手术,包括移植和集成器的制造。对细菌感染特别敏感的患者的隔离治 疗,如骨髓移植患者的术后隔离治 疗。
静止时的发菌量一般为10-300个/min.人躯体一般活动时的发菌量为 150-1000个/min.人快步行走时的发菌量为 900-2500个/min.人 咳嗽一次一般为 70~700个/ min.人喷嚏一次一般为 4000~62000个/ min.人 穿平常衣服时发菌量 3300~62000个/ min.人 无口罩发菌量:有口罩发菌量 1:7~1:14 发菌量:发尘量 1:500~1:1000 据国内事例:
设计及参数要点:因其对生产环境的恒温恒湿温控制要求很高(温度控制在22℃±1℃,相对湿度控制在43%±3%);生产大环境的空气洁净等级为千级(ISO 6级);光刻等区域的空气净化等级十级(ISO 4级);规范要求空气净化等级(ISO1-4级)的净化室采用垂直层流:上技术夹层(送风静压箱)中的空气通过FFU(风机过滤机组)输送至洁净生产层,气流通过高架地板及华夫板孔洞送至洁净下技术夹层,再经过回风夹道中的DCC(干冷盘管)回到上技术夹层,循环往复。