广西洁净车间装修生产厂家
发布时间：
2023-04-01 18:19
广西洁净车间装修生产厂家
洁净室灭菌对生物洁净室，除对送入洁净室的空气中的生物或非生物微粒数要受到控制，还要对室内器具、地面、墙面、壁板等表面进行处理。空气洁净技术不能杀灭细菌，生物洁净室运行管理中采取、灭菌措施，减少微生物在洁净室中的生存、繁衍。目前，传统灭菌方法为:紫外线灭菌、剂灭菌、加热灭菌和臭氧灭菌法。它们性都很好，应用为广泛。另外，整个被灭菌的洁净室应通过送回风管形成循环状态，每天开机做空气灭菌1—1、5小时;若需对洁净室墙体、地面和设备等表面进行灭菌则需2小时左右。
由于每种工艺制程设备的发热量大不相同，导致洁净室内的机台发热量分布不均匀。例如炉管机台的发热量相较于其他设备大得多(基本在3-5倍之间)，因此在洁净室内用干盘管DCC带走这些热量。通常要求同一制程的气流经过同一组DCC，在建筑已经确定的情况下，制程的分布要与回风道垂直。如果条件允许，好是将不同制程的区域隔开，这样既可避免金属粒子污染，又能提高温湿度控制的稳定性。通常情况下， 洁净室的温湿度控制在22±2℃，45±5%RH，MAU 的送风温度基本控制在21℃-21.5℃，在与循环风混合后，FFU
无尘室,CLEAN-ROOM.就是一个相对密闭的空间,并控制其中的洁净度(一个重要指标就是单位体积空气中的尘埃粒子数),当然有些时候对此环境中的温湿度,压差,照度,噪音等参数也是要控制的.所以,更科学完整的叫法应该叫"受控环境controled environment".
后进入洁净室生产区域，从而基本达到无尘室的温湿度、洁净度及正压度的要求。由于整个洁净室内摆满了各种生产机器，这些机器都保持持续的运转，会产生大量的热量，这些热量又将通过回风通道内的干盘管DCC进行冷却而被带走， 从而达到维持长时间稳定的温湿度环境。对于洁净室的温湿度控制，主要的两块是新风空调箱和干盘管。新风空调箱除了要外界大气经过其中的初、中和过滤网，把空气中的粉尘颗粒过滤掉外，还要根据洁净室里面的温湿度情况调整出风口的温湿度，以送入的新风在规定的温湿度范围内。而干盘管是根据洁净室里面安装的温湿度传感器测量的值来调整干盘管冷水阀的开度，进而调节回风和送风混合后的温湿度，以满足半导体工艺的温湿度需求。