哈尔滨洁净车间设备生产厂
发布时间:
2023-04-08 18:53
哈尔滨洁净车间设备生产厂
进入无尘车间必须了解的事,1.进入无尘车间应穿干净鞋具,不得带油渍、污泥入内;2.室内不得吸烟、饮食和饮水;3.焊接、切割、凿洞等有尘作业必须加以控制,防止碎屑大范围扩散,每天工作结束时应将垃圾搬出室外倒入规定处;4.施工材料堆放整齐;5.室内严禁大小便;6.有违犯以上规定者,应立即取消在无尘车间工作的资格。
因此,在确定恒温室参数(parameter)和选择自动控制时,考虑工件恒温恒湿车间、围护结构、空气处理设备和自控系统之间的动态特性。防尘车间是指控制产品 (如硅芯片等) 所接触大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。此环境空间的设计施工过程即可称为净化工程。
在电子行业制造车间是重要产生静电的地方,通常静电会对产品造成短路甚至会造成员工导电晕倒事故,所以电子行业的无尘车间相对湿度不应低于30%,这样即可以减少静电的产生,通常建议无尘车间的防静电区域相对湿度不低于50%。无尘室优点:构造简单、系统建造成本低,洁净室的扩充比较容易,在某些用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级。过于干燥的空气中易粉尘飞扬,电子厂无尘车间无要求的情况下,温度控制在22℃左右,相对湿度控制在55~60%RH之间,在这种环境下,人们感觉舒适,静电也消失了。
后进入洁净室生产区域,从而基本达到无尘室的温湿度、洁净度及正压度的要求。由于整个洁净室内摆满了各种生产机器,这些机器都保持持续的运转,会产生大量的热量,这些热量又将通过回风通道内的干盘管DCC进行冷却而被带走, 从而达到维持长时间稳定的温湿度环境。对于洁净室的温湿度控制,主要的两块是新风空调箱和干盘管。新风空调箱除了要外界大气经过其中的初、中和过滤网,把空气中的粉尘颗粒过滤掉外,还要根据洁净室里面的温湿度情况调整出风口的温湿度,以送入的新风在规定的温湿度范围内。而干盘管是根据洁净室里面安装的温湿度传感器测量的值来调整干盘管冷水阀的开度,进而调节回风和送风混合后的温湿度,以满足半导体工艺的温湿度需求。
为了达到目标温湿度控制点,其对应的温湿度控制分区处理过程为:在Zone 1 的范围内,先降温去湿,再加热。在Zone 2的范围内,先降温,再加湿。在Zone 3 的范围内,先加热,再加湿。在Zone4 的范围内,先降温去湿,再加热。定义:D—控制对象含湿量,T—控制对象温度。通常情况下, 对于设定值温度22±2℃,湿度45±5%RH 而言,Zone1 和Zone3的情况比较多,即需要先降温去湿然后再加热或者先加热然后再加湿。