厦门净化工程设计生产厂家
发布时间:
2023-04-11 18:53
厦门净化工程设计生产厂家
空容器的存放应划分区域,以避免使用的错误。使用中应检查容器的完好情况,如发现裂隙、破口等应及时更换。应制定容器的清洁规程,用后及时清洗,并清洗效果。容器使用一段时间正常损坏时,车间及时给予更换;属非正常损坏时,需说明原因,由车间做出相应的处理。物料进入生产区:车间领料员凭领料单领取物料,领料员领取的物料应有检验合格的报告书。生产区内不能存放多余的物料或与生产无关的物料,进出生产区的物料应控制在限度。为了工艺卫生污染,进出生产区的各种物料从物流通道进出,要进行清洁。
洁净工作服应选产尘量少,又能抗静电的衣料制作,一般1~10万级洁净室内用分装型,100~1000级的用连体型。洁净鞋套好使用一次性的,洁净鞋要求是可洗涤式的。一般地,穿洁净服的人在行走时,表面散发粒子数比穿普通衣服的人减小40—60倍,故此点对高洁净度厂房的维护管理十分重要。洁净工作服要有专人管理,定期检查,清洗。无尘车间设计一般每周清洗一次,通常清洗50~100次后应检查确定是否报废。
建好一个无尘车间,首先要根据实际的生产流程设定相应的功能间,同时考虑人流物流的走向和工作效率.在平面方案初步确定的基础上,再确定洁净区与非洁净区,洁净区的洁净等级.然后确定相应的换气次数或是截面风速.然后布置送回风口,设计洁净送风机组(大小,位置,风机空调选型等),设计送回新风管道等.当然强弱电给排水也要设计.然后就是按图施工
在半导体无尘车间的建造过程中,除了厂房的主体结构施工外,还有洁净建筑装饰施工、净化空调系统及其风管、过滤器的施工安装、高纯水系统及其管线的安装、高纯气体系统(含特种气体供应等)及其管线安装、真空系统及其管线的安装、化学品供应系统及其管线的安装、各种排风和排气系统及其处理设备的安装、消防报警系统及其控制设备的安装、变配电、电气系统及其桥架、配管配线的安装、照明系统及灯具的安装、防微振装置的安装、生产工艺设备及其配管配线的安装等。还有气源,包括吹干晶圆及机台空压所需要的,都得使用氮气(98%),吹干晶圆的氮气甚至要求99.8%以上的高纯氮。这些都是设计要注意的地方。