金昌注塑净化车间装修生产厂
发布时间:
2023-04-18 19:11
金昌注塑净化车间装修生产厂
按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。
参数时通常将积分时间设置为零,以系统过调节而产生振荡。洁净室温度主要由DCC 来调节, 但同时受新风送风温湿度的影响,如果给定太高的温度,进入洁净室和循环风混合后,DCC就需要更大量的冷量进行冷却,这就直接导致能源的浪费;如果给定太低的温度, 进入洁净室和循环风混合后, 即使DCC的开度为零,整个洁净室的温度却仍然太低,这将使得整个洁净室的温度超标。新风空调箱温湿度设定值控制
开度增大以抵消新风带来的热负荷;如果进入洁净室的新风的温度过低,将使得在DCC开度为零时达到环境温度的要求。根据统计数据,空调系统的能耗占整个半导体厂的能耗的30%-35%,因此对空调设备进行优化控制,选择合理温湿度设定值,对提高整个洁净室温湿度控制的稳定性及具有重要的意义。随着半导体生产工艺的不断发展,更精密、集成度更高是行业发展的趋势。目前,制造工艺已经进入亚纳米时代,对生产设备的精度要求越来越严格,因此,除了设备本身的工艺水平需要达到生产要求以外,其所处的生产环境——洁净室的各项也被严格地控制,包括:洁净度、温湿度、照度、气流方向、振动静电、磁场以及有害气体等。其中的温湿度控制是重点,其控制的效果直接影响着生产的优良率。
出口新风湿度进行调节,将洁净室相对湿度测量值与相对湿度设定值进行比较,由此计算出所需要MAU出口新风相对湿度,其计算过程与温度设定值的计算过程类似,然后配合MAU 出口新风温度设定值,计算出MAU 的出口露点温度设定值, 由此来控制MAU 出口的湿度。实际应用中,通过在洁净室温湿度控制系统中引入模糊控制环节和分程控制环节,发挥模糊控制鲁棒性强、动态响应好、上升时间快、超调小的特点,