佛山洁净车间设备生产厂
发布时间:
2023-04-24 19:34
佛山洁净车间设备生产厂
洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。
无尘车间对温湿度的控制决取于其生产工艺。在满足加工工艺的条件下,还应该考虑(consider)到人的舒适感。因为人出汗以后,对产品将有污染,是怕钠(Sodium)的半导体车间,这种车间不宜超过25度。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故,相对湿度在50%时易生锈。下面我们来看常见无尘车间对温湿度有要求的工艺。
洁净区:需要对环境中尘粒与微生物数量进行控制的房间,其建筑结构、装备及其使用应当能够减少该区域内污染物的引入、产生和滞留。它的建造和使用应减少空间内入、产生及滞留粒子。空间内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。洁净区可以是开放式或封闭式。我们的GMP车间属于十万级洁净区。温湿度要求:要以生产工艺要求来检查,一般无要求时温度控制在18-26℃,湿度控制在45-65%。75%乙醇溶液:量取95%乙醇79ml,加水至100ml即得。
在半导体无尘车间的建造过程中,除了厂房的主体结构施工外,还有洁净建筑装饰施工、净化空调系统及其风管、过滤器的施工安装、高纯水系统及其管线的安装、高纯气体系统(含特种气体供应等)及其管线安装、真空系统及其管线的安装、化学品供应系统及其管线的安装、各种排风和排气系统及其处理设备的安装、消防报警系统及其控制设备的安装、变配电、电气系统及其桥架、配管配线的安装、照明系统及灯具的安装、防微振装置的安装、生产工艺设备及其配管配线的安装等。还有气源,包括吹干晶圆及机台空压所需要的,都得使用氮气(98%),吹干晶圆的氮气甚至要求99.8%以上的高纯氮。这些都是设计要注意的地方。