承德洁净车间装修生产厂
发布时间:
2023-05-02 18:04
承德洁净车间装修生产厂
洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。
不允许下列人员进入无尘净化车间:感冒、咳嗽、湿疹等疾病患者;未按规定洗去化妆品、指甲油和未穿洁净工作服者;作业人员宜经常洗头、换衣、剪指甲。作业人员在无尘净化车间内工作时,动作要轻,严格执行操作程序,不作易发尘的大幅度动作,不要拖足行走,不做不必要的动作;不允许穿洁净工作服上厕所。在无尘净化车间内,要按要求戴手套,不要露出手腕,手套要经常更换。对进入无尘净化车间人员要进行相关的培训教育:掌握所在无尘净化车间特点、构造、洁净技术一般知识,人员净化程序及物料净化路线要求,洁净工作服的使用、清洗要求,无尘净化车间的清扫、清洗和,无尘净化车间的设施及管理规定。
目前半导体洁净室对温湿度的控制范围通常为:温度22±2℃,湿度45±5%RH。本文通过对现有洁净室温湿度控制系统的研究,引入模糊控制,以提高温湿度控制的实际效果。对空气单纯地加热或制冷(未达到饱和状态)过程,是含湿量保持不变的过程,即对湿度保持不变的过程。湿空气经过盘管加热,温度升高而相对湿度下降;相反,对冷却过程,温度下降而相对湿度相应升高,因此我们可以得出,温度和相对湿度是两个不同方向的控制量,要使温湿度同时向相同的趋势变化,
出口新风湿度进行调节,将洁净室相对湿度测量值与相对湿度设定值进行比较,由此计算出所需要MAU出口新风相对湿度,其计算过程与温度设定值的计算过程类似,然后配合MAU 出口新风温度设定值,计算出MAU 的出口露点温度设定值, 由此来控制MAU 出口的湿度。实际应用中,通过在洁净室温湿度控制系统中引入模糊控制环节和分程控制环节,发挥模糊控制鲁棒性强、动态响应好、上升时间快、超调小的特点,