衡阳净化工程设计生产厂家
发布时间:
2023-05-02 20:03
衡阳净化工程设计生产厂家
洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。
在半导体无尘车间的建造过程中,除了厂房的主体结构施工外,还有洁净建筑装饰施工、净化空调系统及其风管、过滤器的施工安装、高纯水系统及其管线的安装、高纯气体系统(含特种气体供应等)及其管线安装、真空系统及其管线的安装、化学品供应系统及其管线的安装、各种排风和排气系统及其处理设备的安装、消防报警系统及其控制设备的安装、变配电、电气系统及其桥架、配管配线的安装、照明系统及灯具的安装、防微振装置的安装、生产工艺设备及其配管配线的安装等。还有气源,包括吹干晶圆及机台空压所需要的,都得使用氮气(98%),吹干晶圆的氮气甚至要求99.8%以上的高纯氮。这些都是设计要注意的地方。
条“if-then”规则,根据这些规则,得出如表1 所示的模糊控制规则表:模糊推理将模糊规则库中的模糊“if-then”规则转换成某种映射,即将输入空间上的模糊集合映射到输出空间上的模糊集合。根据这些规则进行模糊推理得到一个模糊集,即模糊控制量U, 再通过去模糊化环节,将其转化为清晰的数字控制量,达到调节MAU 温度设定的目的。洁净室相对湿度控制洁净室相对湿度的控制则由MAU
无尘车间设计要点:满足生产工艺对建筑设计的要求,实现高性能的制造空间与设施。在对净化工程 无尘车间进行总图设计、平面布置、剖面设计时,充分考虑场地的合理利用和满足工艺生产的要求。在对净化无尘车间工程的建筑进行设计时,处理好洁净区域与其相关的辅助区的关系。实现能够经济运行的设施,节约能源、易于维护、降低造价。净化无尘车间建筑设计,确保净化无尘车间内清洁、易清扫、内外污染,微粒产生、滞留和积存。