张家界净化工程设计生产厂
发布时间:
2023-05-05 19:03
张家界净化工程设计生产厂
按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。
洁净室温湿度处理基本流程及常见问题洁净室温湿度处理基本流程前摄像头:5.0MP 后摄像头:13.0MP AF半导体洁净室厂房通常采用新风空调箱(Meup Air Unit,MAU)+风机过滤单元(FanFilter Unit,FFU)+干冷盘管(Dry Cooling Coil,DCC)的设计,即新风空调箱MAU将具有一定洁净等级和温湿度的新风送到洁净室的回风通道中,与循环回风进行混合后进入洁净室吊顶上方,通过风机过滤单元FFU
参数时通常将积分时间设置为零,以系统过调节而产生振荡。洁净室温度主要由DCC 来调节, 但同时受新风送风温湿度的影响,如果给定太高的温度,进入洁净室和循环风混合后,DCC就需要更大量的冷量进行冷却,这就直接导致能源的浪费;如果给定太低的温度, 进入洁净室和循环风混合后, 即使DCC的开度为零,整个洁净室的温度却仍然太低,这将使得整个洁净室的温度超标。新风空调箱温湿度设定值控制
由于每种工艺制程设备的发热量大不相同,导致洁净室内的机台发热量分布不均匀。例如炉管机台的发热量相较于其他设备大得多(基本在3-5倍之间),因此在洁净室内用干盘管DCC带走这些热量。通常要求同一制程的气流经过同一组DCC,在建筑已经确定的情况下,制程的分布要与回风道垂直。如果条件允许,好是将不同制程的区域隔开,这样既可避免金属粒子污染,又能提高温湿度控制的稳定性。通常情况下, 洁净室的温湿度控制在22±2℃,45±5%RH,MAU 的送风温度基本控制在21℃-21.5℃,在与循环风混合后,FFU