保山净化工程设计生产厂
发布时间:
2023-05-08 18:52
保山净化工程设计生产厂
无尘车间对温湿度的控制决取于其生产工艺。在满足加工工艺的条件下,还应该考虑(consider)到人的舒适感。因为人出汗以后,对产品将有污染,是怕钠(Sodium)的半导体车间,这种车间不宜超过25度。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故,相对湿度在50%时易生锈。下面我们来看常见无尘车间对温湿度有要求的工艺。
开度增大以抵消新风带来的热负荷;如果进入洁净室的新风的温度过低,将使得在DCC开度为零时达到环境温度的要求。根据统计数据,空调系统的能耗占整个半导体厂的能耗的30%-35%,因此对空调设备进行优化控制,选择合理温湿度设定值,对提高整个洁净室温湿度控制的稳定性及具有重要的意义。随着半导体生产工艺的不断发展,更精密、集成度更高是行业发展的趋势。目前,制造工艺已经进入亚纳米时代,对生产设备的精度要求越来越严格,因此,除了设备本身的工艺水平需要达到生产要求以外,其所处的生产环境——洁净室的各项也被严格地控制,包括:洁净度、温湿度、照度、气流方向、振动静电、磁场以及有害气体等。其中的温湿度控制是重点,其控制的效果直接影响着生产的优良率。
无尘室,CLEAN-ROOM.就是一个相对密闭的空间,并控制其中的洁净度(一个重要指标就是单位体积空气中的尘埃粒子数),当然有些时候对此环境中的温湿度,压差,照度,噪音等参数也是要控制的.所以,更科学完整的叫法应该叫"受控环境controled environment".
静止时的发菌量一般为10-300个/min.人躯体一般活动时的发菌量为 150-1000个/min.人快步行走时的发菌量为 900-2500个/min.人 咳嗽一次一般为 70~700个/ min.人喷嚏一次一般为 4000~62000个/ min.人 穿平常衣服时发菌量 3300~62000个/ min.人 无口罩发菌量:有口罩发菌量 1:7~1:14 发菌量:发尘量 1:500~1:1000 据国内事例: