梧州净化工程设计生产厂
发布时间：
2023-05-19 20:33
梧州净化工程设计生产厂
由于每种工艺制程设备的发热量大不相同，导致洁净室内的机台发热量分布不均匀。例如炉管机台的发热量相较于其他设备大得多(基本在3-5倍之间)，因此在洁净室内用干盘管DCC带走这些热量。通常要求同一制程的气流经过同一组DCC，在建筑已经确定的情况下，制程的分布要与回风道垂直。如果条件允许，好是将不同制程的区域隔开，这样既可避免金属粒子污染，又能提高温湿度控制的稳定性。通常情况下， 洁净室的温湿度控制在22±2℃，45±5%RH，MAU 的送风温度基本控制在21℃-21.5℃，在与循环风混合后，FFU
后进入洁净室生产区域，从而基本达到无尘室的温湿度、洁净度及正压度的要求。由于整个洁净室内摆满了各种生产机器，这些机器都保持持续的运转，会产生大量的热量，这些热量又将通过回风通道内的干盘管DCC进行冷却而被带走， 从而达到维持长时间稳定的温湿度环境。对于洁净室的温湿度控制，主要的两块是新风空调箱和干盘管。新风空调箱除了要外界大气经过其中的初、中和过滤网，把空气中的粉尘颗粒过滤掉外，还要根据洁净室里面的温湿度情况调整出风口的温湿度，以送入的新风在规定的温湿度范围内。而干盘管是根据洁净室里面安装的温湿度传感器测量的值来调整干盘管冷水阀的开度，进而调节回风和送风混合后的温湿度，以满足半导体工艺的温湿度需求。
无尘室,CLEAN-ROOM.就是一个相对密闭的空间,并控制其中的洁净度(一个重要指标就是单位体积空气中的尘埃粒子数),当然有些时候对此环境中的温湿度,压差,照度,噪音等参数也是要控制的.所以,更科学完整的叫法应该叫"受控环境controled environment".
控制算法得出的计算值分为两部分，0-48%及52(%)-100%，它们分别对应一次表冷盘管及再热盘管，这样就避免了冷热水盘管同时打开而导致能源浪费。同时，在冷热水切换的交界处48%-52%，设置了死区，即当外气的温度与送风温度设定值相当接近时，热水阀和冷水阀都处于关闭(阀开度都为0)的状态，以避免冷热水在临界状态时不停地切换，加速了执行机构的损坏，同时又能减少能源的消耗。为了避免和温度之间的耦合关系，新风出口湿度的设定值通常不采用相对湿度作为控制值，而是通过和温度设定值综合计算后得出其对湿度，以露点温度或含湿量来表示。本文以露点温度为例。将计算所得的露点温度设定值作为整个MAU