广东洁净车间设备生产厂

　　广东洁净车间设备生产厂

　　洁净室最主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。

　　开度增大以抵消新风带来的热负荷;如果进入洁净室的新风的温度过低，将使得在DCC开度为零时达到环境温度的要求。根据统计数据，空调系统的能耗占整个半导体厂的能耗的30%-35%，因此对空调设备进行优化控制，选择合理温湿度设定值，对提高整个洁净室温湿度控制的稳定性及具有重要的意义。随着半导体生产工艺的不断发展，更精密、集成度更高是行业发展的趋势。目前，制造工艺已经进入亚纳米时代，对生产设备的精度要求越来越严格，因此，除了设备本身的工艺水平需要达到生产要求以外，其所处的生产环境——洁净室的各项也被严格地控制，包括:洁净度、温湿度、照度、气流方向、振动静电、磁场以及有害气体等。其中的温湿度控制是重点，其控制的效果直接影响着生产的优良率。

　　控制算法得出的计算值分为两部分，0-48%及52(%)-100%，它们分别对应一次表冷盘管及再热盘管，这样就避免了冷热水盘管同时打开而导致能源浪费。同时，在冷热水切换的交界处48%-52%，设置了死区，即当外气的温度与送风温度设定值相当接近时，热水阀和冷水阀都处于关闭(阀开度都为0)的状态，以避免冷热水在临界状态时不停地切换，加速了执行机构的损坏，同时又能减少能源的消耗。为了避免和温度之间的耦合关系，新风出口湿度的设定值通常不采用相对湿度作为控制值，而是通过和温度设定值综合计算后得出其对湿度，以露点温度或含湿量来表示。本文以露点温度为例。将计算所得的露点温度设定值作为整个MAU

　　0.2%新洁尔灭溶液:量取3%新洁尔灭溶液6.7ml，加水至100ml即得。 1%来苏尔溶液:量取3%来苏尔500ml，加水至1500ml，即得。如用量大时，按上述配制比例进行配制。单月用75%乙醇溶液，双月用0.2%新洁尔灭溶液，二者交替使用。十万级洁净区使用的剂用纯化水配制。饮用水(自来水)生产指令:生产部根据生产计划和作业安排下达生产指令单。生产指令单内容包括:产品名称、生产车间、规格、批量、批号及原辅料名称、物料编号、实际用量、半成品批号、计划投产日期。