中山洁净室检测议生产厂家

　　中山洁净室检测议生产厂家

　　洁净室最主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。

　　不允许下列人员进入无尘净化车间:感冒、咳嗽、湿疹等疾病患者；未按规定洗去化妆品、指甲油和未穿洁净工作服者；作业人员宜经常洗头、换衣、剪指甲。作业人员在无尘净化车间内工作时，动作要轻，严格执行操作程序，不作易发尘的大幅度动作，不要拖足行走，不做不必要的动作；不允许穿洁净工作服上厕所。在无尘净化车间内，要按要求戴手套，不要露出手腕，手套要经常更换。对进入无尘净化车间人员要进行相关的培训教育:掌握所在无尘净化车间特点、构造、洁净技术一般知识，人员净化程序及物料净化路线要求，洁净工作服的使用、清洗要求，无尘净化车间的清扫、清洗和，无尘净化车间的设施及管理规定。

　　湿度处理———包括一次表冷盘管、二次表冷盘管、蒸汽加湿三部分。预热盘管的作用是对外气进行预加热。在外界气温较低，接近零度时，为了避免盘管在气温低于零度时被冻坏，需对外气进行加热，通常是加热到12℃。控制送风温度时，将送风温度与其设定值进行比较，通过PID控制算法，得出一个计算值，根据该计算值来确定一次表冷盘管与再热盘管阀门开度的大小，其控制流程如图4 所示。在整个PID 闭环控制环节中引入分程控制器模型，如图5 所示，将PID

　　后进入洁净室生产区域，从而基本达到无尘室的温湿度、洁净度及正压度的要求。由于整个洁净室内摆满了各种生产机器，这些机器都保持持续的运转，会产生大量的热量，这些热量又将通过回风通道内的干盘管DCC进行冷却而被带走， 从而达到维持长时间稳定的温湿度环境。对于洁净室的温湿度控制，主要的两块是新风空调箱和干盘管。新风空调箱除了要外界大气经过其中的初、中和过滤网，把空气中的粉尘颗粒过滤掉外，还要根据洁净室里面的温湿度情况调整出风口的温湿度，以送入的新风在规定的温湿度范围内。而干盘管是根据洁净室里面安装的温湿度传感器测量的值来调整干盘管冷水阀的开度，进而调节回风和送风混合后的温湿度，以满足半导体工艺的温湿度需求。