丽江无尘车间装修生产厂家
发布时间：
2023-06-17 20:23
丽江无尘车间装修生产厂家
洁净室最主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。
在半导体无尘车间的建造过程中，除了厂房的主体结构施工外，还有洁净建筑装饰施工、净化空调系统及其风管、过滤器的施工安装、高纯水系统及其管线的安装、高纯气体系统(含特种气体供应等)及其管线安装、真空系统及其管线的安装、化学品供应系统及其管线的安装、各种排风和排气系统及其处理设备的安装、消防报警系统及其控制设备的安装、变配电、电气系统及其桥架、配管配线的安装、照明系统及灯具的安装、防微振装置的安装、生产工艺设备及其配管配线的安装等。还有气源，包括吹干晶圆及机台空压所需要的，都得使用氮气(98%)，吹干晶圆的氮气甚至要求99.8%以上的高纯氮。这些都是设计要注意的地方。
无尘厂房装修地面应用平整，无缝隙，耐磨耐腐蚀，不易集聚静电的，便于清理的整体地面。设计中可以采用现浇水磨石地面，所用石子直径应在6-15mm之间。其中分隔条采用铜条分隔，不得采用玻璃条。现多采用环氧自流坪地面，它是一种树脂类复合材料地坪。它的特点是无溶剂、、无接缝、自流找平。可以达到镜面装饰效果、无缝连接、耐油类及酸、碱、盐化学溶剂。具有防静电，发尘小，耐磨耐冲击等特点但是造价高。大多采用于要求高洁净度、外表美观、无尘、无菌的电子、医、血液制品等行业生产车间地面。环氧自流坪地面的使用寿命厚度1mm以上一般可使用6年以上。以上地坪地面垫层下应铺设防潮层，混凝土分仓线不宜通过洁净区。
设计及参数要点:因其对生产环境的恒温恒湿温控制要求很高(温度控制在22℃±1℃，相对湿度控制在43%±3%);生产大环境的空气洁净等级为千级(ISO 6级);光刻等区域的空气净化等级十级(ISO 4级);规范要求空气净化等级(ISO1-4级)的净化室采用垂直层流:上技术夹层(送风静压箱)中的空气通过FFU(风机过滤机组)输送至洁净生产层，气流通过高架地板及华夫板孔洞送至洁净下技术夹层，再经过回风夹道中的DCC(干冷盘管)回到上技术夹层，循环往复。