甘肃注塑净化车间装修生产厂
发布时间:
2023-06-18 18:53
甘肃注塑净化车间装修生产厂
按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。
洁净室温湿度处理基本流程及常见问题洁净室温湿度处理基本流程前摄像头:5.0MP 后摄像头:13.0MP AF半导体洁净室厂房通常采用新风空调箱(Meup Air Unit,MAU)+风机过滤单元(FanFilter Unit,FFU)+干冷盘管(Dry Cooling Coil,DCC)的设计,即新风空调箱MAU将具有一定洁净等级和温湿度的新风送到洁净室的回风通道中,与循环回风进行混合后进入洁净室吊顶上方,通过风机过滤单元FFU
后进入洁净室生产区域,从而基本达到无尘室的温湿度、洁净度及正压度的要求。由于整个洁净室内摆满了各种生产机器,这些机器都保持持续的运转,会产生大量的热量,这些热量又将通过回风通道内的干盘管DCC进行冷却而被带走, 从而达到维持长时间稳定的温湿度环境。对于洁净室的温湿度控制,主要的两块是新风空调箱和干盘管。新风空调箱除了要外界大气经过其中的初、中和过滤网,把空气中的粉尘颗粒过滤掉外,还要根据洁净室里面的温湿度情况调整出风口的温湿度,以送入的新风在规定的温湿度范围内。而干盘管是根据洁净室里面安装的温湿度传感器测量的值来调整干盘管冷水阀的开度,进而调节回风和送风混合后的温湿度,以满足半导体工艺的温湿度需求。
湿度处理———包括一次表冷盘管、二次表冷盘管、蒸汽加湿三部分。预热盘管的作用是对外气进行预加热。在外界气温较低,接近零度时,为了避免盘管在气温低于零度时被冻坏,需对外气进行加热,通常是加热到12℃。控制送风温度时,将送风温度与其设定值进行比较,通过PID控制算法,得出一个计算值,根据该计算值来确定一次表冷盘管与再热盘管阀门开度的大小,其控制流程如图4 所示。在整个PID 闭环控制环节中引入分程控制器模型,如图5 所示,将PID