宿州洁净车间设备生产厂家
发布时间:
2023-06-19 18:38
宿州洁净车间设备生产厂家
洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。
目前半导体洁净室对温湿度的控制范围通常为:温度22±2℃,湿度45±5%RH。本文通过对现有洁净室温湿度控制系统的研究,引入模糊控制,以提高温湿度控制的实际效果。对空气单纯地加热或制冷(未达到饱和状态)过程,是含湿量保持不变的过程,即对湿度保持不变的过程。湿空气经过盘管加热,温度升高而相对湿度下降;相反,对冷却过程,温度下降而相对湿度相应升高,因此我们可以得出,温度和相对湿度是两个不同方向的控制量,要使温湿度同时向相同的趋势变化,
空容器的存放应划分区域,以避免使用的错误。使用中应检查容器的完好情况,如发现裂隙、破口等应及时更换。应制定容器的清洁规程,用后及时清洗,并清洗效果。容器使用一段时间正常损坏时,车间及时给予更换;属非正常损坏时,需说明原因,由车间做出相应的处理。物料进入生产区:车间领料员凭领料单领取物料,领料员领取的物料应有检验合格的报告书。生产区内不能存放多余的物料或与生产无关的物料,进出生产区的物料应控制在限度。为了工艺卫生污染,进出生产区的各种物料从物流通道进出,要进行清洁。
则单纯靠加热/冷却过程是不能实现的。冷却去湿过程是湿空气经冷却达到饱和后继续制冷的过程,湿空气经过冷却盘管结露析出水滴从而降低了对湿度,起到去湿的作用。因而我们可以将空气处理过程分为加热、加湿、降温及降温去湿等四个过程。图1中,横坐标为含湿量,即每千克空气所含有的水蒸量;纵坐标为摄氏温度。根据目标状态,对湿度线和目标温度线可以划分为四个控制区: Zone 1,ZoneZone 3,Zone 4。