嘉兴医院无菌室装修生产厂
发布时间：
2023-06-23 20:32
嘉兴医院无菌室装修生产厂
在半导体无尘车间的建造过程中，除了厂房的主体结构施工外，还有洁净建筑装饰施工、净化空调系统及其风管、过滤器的施工安装、高纯水系统及其管线的安装、高纯气体系统(含特种气体供应等)及其管线安装、真空系统及其管线的安装、化学品供应系统及其管线的安装、各种排风和排气系统及其处理设备的安装、消防报警系统及其控制设备的安装、变配电、电气系统及其桥架、配管配线的安装、照明系统及灯具的安装、防微振装置的安装、生产工艺设备及其配管配线的安装等。还有气源，包括吹干晶圆及机台空压所需要的，都得使用氮气(98%)，吹干晶圆的氮气甚至要求99.8%以上的高纯氮。这些都是设计要注意的地方。
空容器的存放应划分区域，以避免使用的错误。使用中应检查容器的完好情况，如发现裂隙、破口等应及时更换。应制定容器的清洁规程，用后及时清洗，并清洗效果。容器使用一段时间正常损坏时，车间及时给予更换;属非正常损坏时，需说明原因，由车间做出相应的处理。物料进入生产区:车间领料员凭领料单领取物料，领料员领取的物料应有检验合格的报告书。生产区内不能存放多余的物料或与生产无关的物料，进出生产区的物料应控制在限度。为了工艺卫生污染，进出生产区的各种物料从物流通道进出，要进行清洁。
无尘室,CLEAN-ROOM.就是一个相对密闭的空间,并控制其中的洁净度(一个重要指标就是单位体积空气中的尘埃粒子数),当然有些时候对此环境中的温湿度,压差,照度,噪音等参数也是要控制的.所以,更科学完整的叫法应该叫"受控环境controled environment".
洁净室温湿度处理基本流程及常见问题洁净室温湿度处理基本流程前摄像头:5.0MP 后摄像头:13.0MP AF半导体洁净室厂房通常采用新风空调箱(Meup Air Unit，MAU)+风机过滤单元(FanFilter Unit，FFU)+干冷盘管(Dry Cooling Coil，DCC)的设计，即新风空调箱MAU将具有一定洁净等级和温湿度的新风送到洁净室的回风通道中，与循环回风进行混合后进入洁净室吊顶上方，通过风机过滤单元FFU