贵港洁净室检测议生产厂家
发布时间:
2023-06-29 18:23
贵港洁净室检测议生产厂家
洁净室按用途分类可分为工业洁净室和生物洁净室;按气流流型可分为单向流洁净室、非单向流洁净室、辐流洁净室、混合流洁净室。净化工程广泛应生物制药、医疗器械、医院制剂室、手术室、无菌室、食品饮料、化妆品、电子、实验室、电子仪器仪表、计算机房、半导体厂、印刷厂、汽车工业、航天工业、光刻、微机制造等行业。
测试标准,半导体行业的衣服ESD的要求一般要求小于100V。有些行业有更严格的标准,如晶圆、磁头行业,摩擦电压一般小于20V。随着半导体生产工艺的不断发展,更精密、集成度更高是行业发展的趋势。目前,制造工艺已经进入亚纳米时代,对生产设备的精度要求越来越严格,因此,除了设备本身的工艺水平需要达到生产要求以外,其所处的生产环境——洁净室的各项也被严格地控制,包括:洁净度、温湿度、照度、气流方向、振动静电、磁场以及有害气体等。其中的温湿度控制是重点,其控制的效果直接影响着生产的优良率。
新风空调箱送风温度设定值的选取是比较关键的,它能够佳适应当前洁净室内温度的需求。如果给定太高的温度,进入洁净室和循环风混合后,DCC就需要更大量的冷量进行冷却,这就直接导致能源的浪费;如果给定太低的温度,进入洁净室和循环风混合后,即使DCC的开度为零,整个洁净室的温度却仍然太低,这将使得整个洁净室的温度超标。因此,对于MAU新风送风温度设定值的选取是十分重要的,在确保系统在控制范围内并尽可能达到的目的。在此,我们引入模糊控制的思想,通过对洁净室温度偏差及偏差变化率的模糊规则变换,得出新风空调箱送风温度设定值SP。整个程序运行的流程如图7
所示,程序运行后,将获得新的SP。基本的模糊控制系统如图8 所示。系统中的模糊控制器是两输入一输出的,其输入量是系统的偏差E 和偏差变化率EC, 而这两个量具有确定的数值,是两个清晰量。整个模糊控制器由四个部分组成:模糊化,模糊规则库,模糊推理及去模糊化。模糊化的作用是将一个确定的点映射为输入空间的一个模糊集合。通过模糊化处理,得到模糊的偏差量E以及模糊的偏差变化率EC。其中模糊的偏差量E 语言值集合有七种取值,分别是NB(负大)、NM(负中)、NS(