银南洁净室检测议生产厂
发布时间:
2023-06-29 20:13
银南洁净室检测议生产厂
万级无尘车间:万级无尘车间常用于液压设备或气压设备的组装,在某些情况下也用于食品饮料行业。此外,万级无尘车间也常用于医疗行业。
千级无尘车间:本级无尘车间主要用于生产优质光学产品、测试、装配飞机蛇螺仪、装配优质微轴承等。
进入一般生产区进入车间的物料,需在脱外包室脱去外包装,不能脱外包装的,用吸尘器吸去灰尘或用清洁巾擦干净,方可进入生产区。进入一般生产区的物料双方交接核对品名、数量,准确后,双方在交接记录上签字。进般生产区的物料,放到指定的位置,要求按品种、规格、批号分别存放,码放整齐,并有状态标识3.进入洁净区3.1需进入洁净区的物料,在外清室进行清洁,再用清洁巾浸剂擦拭物料表面后,由外清人员送到传递窗内,关紧传递窗门,打开紫外灯照射30分钟。
开度增大以抵消新风带来的热负荷;如果进入洁净室的新风的温度过低,将使得在DCC开度为零时达到环境温度的要求。根据统计数据,空调系统的能耗占整个半导体厂的能耗的30%-35%,因此对空调设备进行优化控制,选择合理温湿度设定值,对提高整个洁净室温湿度控制的稳定性及具有重要的意义。随着半导体生产工艺的不断发展,更精密、集成度更高是行业发展的趋势。目前,制造工艺已经进入亚纳米时代,对生产设备的精度要求越来越严格,因此,除了设备本身的工艺水平需要达到生产要求以外,其所处的生产环境——洁净室的各项也被严格地控制,包括:洁净度、温湿度、照度、气流方向、振动静电、磁场以及有害气体等。其中的温湿度控制是重点,其控制的效果直接影响着生产的优良率。
由于每种工艺制程设备的发热量大不相同,导致洁净室内的机台发热量分布不均匀。例如炉管机台的发热量相较于其他设备大得多(基本在3-5倍之间),因此在洁净室内用干盘管DCC带走这些热量。通常要求同一制程的气流经过同一组DCC,在建筑已经确定的情况下,制程的分布要与回风道垂直。如果条件允许,好是将不同制程的区域隔开,这样既可避免金属粒子污染,又能提高温湿度控制的稳定性。通常情况下, 洁净室的温湿度控制在22±2℃,45±5%RH,MAU 的送风温度基本控制在21℃-21.5℃,在与循环风混合后,FFU