涪陵洁净车间装修生产厂
发布时间:
2023-07-27 18:22
涪陵洁净车间装修生产厂
后进入洁净室生产区域,从而基本达到无尘室的温湿度、洁净度及正压度的要求。由于整个洁净室内摆满了各种生产机器,这些机器都保持持续的运转,会产生大量的热量,这些热量又将通过回风通道内的干盘管DCC进行冷却而被带走, 从而达到维持长时间稳定的温湿度环境。对于洁净室的温湿度控制,主要的两块是新风空调箱和干盘管。新风空调箱除了要外界大气经过其中的初、中和过滤网,把空气中的粉尘颗粒过滤掉外,还要根据洁净室里面的温湿度情况调整出风口的温湿度,以送入的新风在规定的温湿度范围内。而干盘管是根据洁净室里面安装的温湿度传感器测量的值来调整干盘管冷水阀的开度,进而调节回风和送风混合后的温湿度,以满足半导体工艺的温湿度需求。
洁净室温湿度处理基本流程及常见问题洁净室温湿度处理基本流程前摄像头:5.0MP 后摄像头:13.0MP AF半导体洁净室厂房通常采用新风空调箱(Meup Air Unit,MAU)+风机过滤单元(FanFilter Unit,FFU)+干冷盘管(Dry Cooling Coil,DCC)的设计,即新风空调箱MAU将具有一定洁净等级和温湿度的新风送到洁净室的回风通道中,与循环回风进行混合后进入洁净室吊顶上方,通过风机过滤单元FFU
传递窗两侧的门不得同时打开。在不使用时,两侧的门都关闭后,关闭电源。传递窗的清洁由传递窗操作人员负责。周转容器指的是生产过程中用于盛放固体或液体的不锈钢桶。半成品周转容器通常要放置一段时间,物料要与容器接触,所以周转容器材质应选择不锈钢材质。容器应有较好的密封性能,盖严密,不使物料在运输过程中发生外溢,外漏,并能有效的尘埃和异物的进入。因需要使用的容器密闭性差时,要在外部采取有效的密封措施。
洁净室是空气悬浮粒子浓度受控的空间。洁净室是特殊的房间,该房间内的空气悬浮粒子浓度、空气温度、湿度、压力等参数均需要控制。空气悬浮粒子是有特定含义的,它是尺寸范围在0.1~5μm的固体和液体粒子,它用于空气洁净度的分级。空气悬浮粒子,有的有生命(如细菌、病毒等),有的无生命(如尘粒)。有生命的微粒其实就是细菌等微生物附着在无生命的尘粒上形成的。