德阳无尘车间装修生产厂
发布时间:
2023-07-27 18:38
德阳无尘车间装修生产厂
洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。
设计及参数要点:因其对生产环境的恒温恒湿温控制要求很高(温度控制在22℃±1℃,相对湿度控制在43%±3%);生产大环境的空气洁净等级为千级(ISO 6级);光刻等区域的空气净化等级十级(ISO 4级);规范要求空气净化等级(ISO1-4级)的净化室采用垂直层流:上技术夹层(送风静压箱)中的空气通过FFU(风机过滤机组)输送至洁净生产层,气流通过高架地板及华夫板孔洞送至洁净下技术夹层,再经过回风夹道中的DCC(干冷盘管)回到上技术夹层,循环往复。
进入一般生产区进入车间的物料,需在脱外包室脱去外包装,不能脱外包装的,用吸尘器吸去灰尘或用清洁巾擦干净,方可进入生产区。进入一般生产区的物料双方交接核对品名、数量,准确后,双方在交接记录上签字。进般生产区的物料,放到指定的位置,要求按品种、规格、批号分别存放,码放整齐,并有状态标识3.进入洁净区3.1需进入洁净区的物料,在外清室进行清洁,再用清洁巾浸剂擦拭物料表面后,由外清人员送到传递窗内,关紧传递窗门,打开紫外灯照射30分钟。
出风口的温度控制在22℃,这样,经过工作层面后温度将会再上升,在机台满载的情况下上升温度会基本稳定。 温湿度控制中的常见问题的温湿度处理过程中,为了解决问题,通常采用湿度优先的方法,冷水阀主要用来,同时也造成温度的下降,然后通过热水阀的再热,使温湿度均能达到所要求的值。这样的做法虽然可以满足设计要求,但在相当多的时候,冷热水阀使能量相互抵消,造成了能源的浪费。另外,如果进入洁净室的新风温度过高,将导致整个洁净室的热负荷加大,DCC