泉州无尘车间装修生产厂家
发布时间:
2023-08-02 18:44
泉州无尘车间装修生产厂家
按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。
目前半导体洁净室对温湿度的控制范围通常为:温度22±2℃,湿度45±5%RH。本文通过对现有洁净室温湿度控制系统的研究,引入模糊控制,以提高温湿度控制的实际效果。温湿度控制系统实现基本上, 现在洁净室温湿度要求为22±2℃,45±5%RH,当然根据生产工艺的需求,对温湿度的要求也不尽相同。新风空调箱的温湿度控制新风空调箱基本结构新风空调箱基本结构如图3 所示,其处理流程如下:空气过滤———包括初效、中效、三部分;温度处理———包括预热盘管、一次表冷盘管、再热盘管三部分;
控制算法得出的计算值分为两部分,0-48%及52(%)-100%,它们分别对应一次表冷盘管及再热盘管,这样就避免了冷热水盘管同时打开而导致能源浪费。同时,在冷热水切换的交界处48%-52%,设置了死区,即当外气的温度与送风温度设定值相当接近时,热水阀和冷水阀都处于关闭(阀开度都为0)的状态,以避免冷热水在临界状态时不停地切换,加速了执行机构的损坏,同时又能减少能源的消耗。为了避免和温度之间的耦合关系,新风出口湿度的设定值通常不采用相对湿度作为控制值,而是通过和温度设定值综合计算后得出其对湿度,以露点温度或含湿量来表示。本文以露点温度为例。将计算所得的露点温度设定值作为整个MAU
为了达到目标温湿度控制点,其对应的温湿度控制分区处理过程为:在Zone 1 的范围内,先降温去湿,再加热。在Zone 2的范围内,先降温,再加湿。在Zone 3 的范围内,先加热,再加湿。在Zone4 的范围内,先降温去湿,再加热。定义:D—控制对象含湿量,T—控制对象温度。通常情况下, 对于设定值温度22±2℃,湿度45±5%RH 而言,Zone1 和Zone3的情况比较多,即需要先降温去湿然后再加热或者先加热然后再加湿。