仙桃净化工程设计生产厂
发布时间:
2023-08-09 18:23
仙桃净化工程设计生产厂
湿度处理———包括一次表冷盘管、二次表冷盘管、蒸汽加湿三部分。预热盘管的作用是对外气进行预加热。在外界气温较低,接近零度时,为了避免盘管在气温低于零度时被冻坏,需对外气进行加热,通常是加热到12℃。控制送风温度时,将送风温度与其设定值进行比较,通过PID控制算法,得出一个计算值,根据该计算值来确定一次表冷盘管与再热盘管阀门开度的大小,其控制流程如图4 所示。在整个PID 闭环控制环节中引入分程控制器模型,如图5 所示,将PID
在精密机械加工和计量等场合,为了因热膨胀而引起的误差,使工件保持一定的温度(temperature)。工件温度的允许波动幅度应根据加工精度决定。例如,在恒温室里对一根长500mm的标准尺刻线,工艺允许线间公差为2um,其中lum为尺温变化所引起的形变误差,另1um为加工与量测误差。1um折合尺温变化量=0。20C[a为尺线膨胀系数,取10/um/(m?K);l为尺长,m],故工件温度变化需在以内。但由于工件测量仪器等都有一定的热惰性,空气温度的波动传人工件后,就要衰减。在设计恒温系统时,一般总是以恒定环境空气温度为依据,故相应的环境温度精度可比工件允许的温度精度低一些。
无尘室,CLEAN-ROOM.就是一个相对密闭的空间,并控制其中的洁净度(一个重要指标就是单位体积空气中的尘埃粒子数),当然有些时候对此环境中的温湿度,压差,照度,噪音等参数也是要控制的.所以,更科学完整的叫法应该叫"受控环境controled environment".
测试标准,半导体行业的衣服ESD的要求一般要求小于100V。有些行业有更严格的标准,如晶圆、磁头行业,摩擦电压一般小于20V。随着半导体生产工艺的不断发展,更精密、集成度更高是行业发展的趋势。目前,制造工艺已经进入亚纳米时代,对生产设备的精度要求越来越严格,因此,除了设备本身的工艺水平需要达到生产要求以外,其所处的生产环境——洁净室的各项也被严格地控制,包括:洁净度、温湿度、照度、气流方向、振动静电、磁场以及有害气体等。其中的温湿度控制是重点,其控制的效果直接影响着生产的优良率。