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由于每种工艺制程设备的发热量大不相同，导致洁净室内的机台发热量分布不均匀。例如炉管机台的发热量相较于其他设备大得多(基本在3-5倍之间)，因此在洁净室内用干盘管DCC带走这些热量。通常要求同一制程的气流经过同一组DCC，在建筑已经确定的情况下，制程的分布要与回风道垂直。如果条件允许，好是将不同制程的区域隔开，这样既可避免金属粒子污染，又能提高温湿度控制的稳定性。通常情况下， 洁净室的温湿度控制在22±2℃，45±5%RH，MAU 的送风温度基本控制在21℃-21.5℃，在与循环风混合后，FFU
无尘车间对温湿度的控制决取于其生产工艺。在满足加工工艺的条件下，还应该考虑（consider)到人的舒适感。因为人出汗以后，对产品将有污染，是怕钠(Sodium)的半导体车间，这种车间不宜超过25度。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故，相对湿度在50%时易生锈。下面我们来看常见无尘车间对温湿度有要求的工艺。
余压阀控制:在净化车间内有剩余风量时，可调节余压阀上的平衡压块，改变其开度，实现压差控制。调节回风阀或排风阀。调节新风阀或送风阀。自动化控制净化车间压差方法。无尘车间与净化车间的区别:无尘车间又被称之为清洁车间、无尘室或清洁室，从名字上来判断两者并无差异，是同一款产品只是有不同的叫法而已。无尘车间与净化车间属于同一类型产品，他们的主要功能为室内清洁、室内污染源控制。无尘车间(净化车间)为工厂的生产保驾护航，没有它们的话污染敏感零件不可能批量生产
乱流洁净室也叫非单向流洁净室，非单向流洁净室的原理是靠洁净送风气流扩散、混合、不断稀释室内空气，把室内污染逐渐排出，达到平衡。简言之，非单向流洁净室的原理就是稀释作用。 特点:乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净与洁净级别。换气次数决定定义中的净化级别（换气次数越多，净化级别越高）。