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依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard(FS)209E，1992】，可将无尘室(又名洁净室,无尘车间)分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸不是0.5um，无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:10级在0.2um(尘粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75颗/立方英尺)，1级在0.1um(尘粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35颗/立方英尺)。而集成电路制造所需的无尘室之洁净度优于1000级。
关于日常的,每天生产结束后,用75%乙醇或2‰新洁尔灭溶液擦拭机台、桌面、门窗、墙壁等.每3天生产结束后,用75%乙醇或2‰新洁尔灭溶液对洁净室内设施表面及顶棚、照明等表面进行擦拭, 3%~5%的来苏儿对地面进行,目的是杀死因生产过程中产生的细菌繁殖体,控制洁净室内微生物含量.这些措施仅能控制洁净室内空气中的细菌量及杂菌种类,如果霉菌较多,就要先用5%石碳酸quan面喷洒室内,然后用甲醛熏蒸才能达到无菌效果,而且只有这样才能杀死细菌、杂菌芽孢.每个生产周期结束,下个周期生产前对有无菌要求的洁净室行液,检测洁净室内尘埃粒子数符合规定后,再对洁净室内进行甲醛气体熏蒸,从长期检测的结果来看,这种环境灭菌方法效果很好.
期超过两天以上的要定时清理，对可以不存放在净化车间的物品和无用物品要及时清理。物品要存放有序，原材料放在原材料缓冲间中，清洁用具放在清洁间中，生产使用的容器与器皿，在未使用时应存放在清洗间中，同时应分类并加以标识。控制普通纸在净化车间内使用，禁止在净化车间内使用非净化用品，如使用时，应放在回风口附近。在净化车间工作时，若产品须暂存放，应放在货架上的指定区域，对禁止存放在地面上。没有洁净室，就不可能批量生产污染敏感的零件。在FED-STD-2中，洁净室被定义为具有空气过滤、分布、优化、结构材料和设备的房间，具体的规则操作程序控制空气悬浮颗粒的浓度，以达到适当的颗粒清洁度。