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依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可将无尘室(又名洁净室,无尘车间)分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级,如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸不是0.5um,无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:10级在0.2um(尘粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75颗/立方英尺),1级在0.1um(尘粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35颗/立方英尺)。而集成电路制造所需的无尘室之洁净度优于1000级。
单向流洁净室的流态从雷诺数判断是紊流的,所以所谓层流洁净室的层流和流体力学上的层流是不同的概念。因此,层流洁净室这个名词是不贴切的,国外某些标准和文章也指出这一点,例如英国标准BS-5295就曾把所谓层流洁净室定义为单向流洁净室,只是照顾惯在括号中注明为层流。前联邦德国标准VDl- 2083则用“非紊流的置换流”这一术语,并在注中指出,层流这一概念只是为了区别早于层流洁净室出现的紊(乱)流洁净室而在当时采用的惯用语,“层流系统”的确切意思并不是分层流动,而是紊流的置换流,用本章提到的概念是紊流的渐变流。在流体力学中,这种流动状态也可称平行流或单向流。1977年中国在《空气洁净技术措施》中选用了“平行流”这个术语,在该术语后面同时也指出惯上称“层流”。
管道尽可能沿厂房墙壁安装,管与管间及管与墙间的距离以能容纳活接头或法兰,便于检修为度。一般管路的较突出部分距墙不少于100mm;两管道的较突出部分间距离,对中压管道约40~60mm,对高压管道约70~90mm。由于法兰易泄漏,故除与设备或阀门采用法兰连接外,其他应采用对焊连接,但镀锌钢管不允许用焊接,DN≤50mm可用螺纹连接。工业洁净车间内的管道设计在工业洁净车间内,系统的主管应布置在技术夹层、技术夹道或技术竖井中。夹层系统中有空气净化系统管线,这种系统管线的特点是管径大,管道多且广,是工业洁净车间技术夹层中起主导作用的管道,管道的走向直接受空调机房位置、逆回风方式、系统的划分等三个因素的影响,而管道的布置是否理想又直接影响技术夹层。
乱流洁净室也叫非单向流洁净室,非单向流洁净室的原理是靠洁净送风气流扩散、混合、不断稀释室内空气,把室内污染逐渐排出,达到平衡。简言之,非单向流洁净室的原理就是稀释作用。 特点:乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净与洁净级别。换气次数决定定义中的净化级别(换气次数越多,净化级别越高)。