湖南血站万级无尘室专业生产厂家
洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内而所给予特别设计之房间.
非单向流净化车间非单向流的净化原理是靠送风气流不断稀释室内空气,把室内污染逐渐排出,达到平衡,即稀释原理。具体来讲,就是利用干净气流的混合稀释作用,把室内含尘浓度很高的空气稀释,使室内污染源所产生的污染物质均匀扩散并及时排出室外,降低室内空气的含尘浓度,使室内的洁净度达到要求。非单向流净化车间的气流流型又可分为顶送下回、顶送下侧回、顶送顶回等。一般形式为过滤器送风口顶部送风;回风的形式有下部回风、侧下部回风和顶部回风等。依不同送风换气次数,实现不同的净化级别,其初投资和运行费用也不同。非单向流净化车间的特性包括:换气次数,与舒适性空调相同;气流组织,即能均匀地送风和回风,充分发挥洁净气流的稀释作用,要求单个风口有的扩散作用,整个净化车间室内风口布置均匀,数量尽可能多,要尽量减少涡流和气流回旋;自净时间,室内从某污染状态降低到某洁净状态所需要的时间,自净时间越短越好。非单向流净化车间自净时间一般不超过30min。
每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了无尘标准的A级。芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。0.5uM及以下的微尘数量被严格控制在每立方英寸1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。空态:已经建造完成并可以投入使用的洁净室(设施)。它具备有关的服务和功能。但是,在设施内没有操作人员操作的设备。
依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可将无尘室(又名洁净室,无尘车间)分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级,如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸不是0.5um,无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:10级在0.2um(尘粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75颗/立方英尺),1级在0.1um(尘粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35颗/立方英尺)。而集成电路制造所需的无尘室之洁净度优于1000级。