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出口新风湿度进行调节，将洁净室相对湿度测量值与相对湿度设定值进行比较，由此计算出所需要MAU出口新风相对湿度，其计算过程与温度设定值的计算过程类似，然后配合MAU 出口新风温度设定值，计算出MAU 的出口露点温度设定值， 由此来控制MAU 出口的湿度。实际应用中，通过在洁净室温湿度控制系统中引入模糊控制环节和分程控制环节，发挥模糊控制鲁棒性强、动态响应好、上升时间快、超调小的特点,
将空气中之尘埃、压力、温度、湿度、气流分布之情形及速度，控制于一定范围内之空间。此处所指之尘埃为肉眼无法看见的灰尘及粒子，且指一般空气清净机无法清除之灰尘。无尘室一般分为电子、精密工业用IndustraialCleanRoom(ICR);及需控制微生物浓度等制、食品产业用BiologicalCleanRoo(BCR)。联邦规格无尘室等级现今一般多奉行与美国所制定的联邦规格(U.S.Federalstandard209b)，BCR则多参考明定生物粒子限制值的NASA规格(美国航空署5340.2规格)。其Fed.std清洁度的表示法为:1ft3空气中，含有多少个0.5μm(micro)以上的微粒子，及称为[等级○○]。例如:空气中含有10个0.5以下时，表示为“等级10”。二自然界大气中通常含有300000~30000000个微粒子。
无尘净化板车间的优势，防尘，防静电，抗菌等效果；有一定的耐腐蚀性，洁净室通常都需频繁擦拭，除了用水擦拭还会用消毒水、酒精等消毒，这些液体通常都有一定的化学品性，会使一些材料表面变色、脱落、恒远使用宝钢、冠洲等优质耐腐蚀原材料，板材使用更持久；还具有很好的抗氧化性，不产生锈蚀，整体来说净化板有平整、耐磨、易除尘清洗、不易积聚静电、避免眩光、并有舒适感等优点。
依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard(FS)209E，1992】，可将无尘室(又名洁净室,无尘车间)分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸不是0.5um，无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:10级在0.2um(尘粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75颗/立方英尺)，1级在0.1um(尘粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35颗/立方英尺)。而集成电路制造所需的无尘室之洁净度优于1000级。