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所谓的无尘室是一个人造的环境,里面含有的粒子远低于一般的环境,随着集成电路的级数的成长,也增加了对制造环境(无尘室)洁净度要求,在工业上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。优于纳米技术的兴起,造成半导体关键尺寸持续缩小,集成电路积集度不断地增加,尘粒更容易使芯片失效或度恶化。例如当金属尘粒落到金属导线时,就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上,可能将其腐蚀,所以无尘室为集成电路制造的要素。
以无生命微粒的控制为对象。主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染,内部一般保持正压状态。它适用于精密机械工业、电子工业(半导体、集成电路等)宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业(光盘、胶片、磁带生产)LCD(液晶玻璃)、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。
在进入或离开洁净厂房之前戴好防静电手套或手指套,手指套要戴十只手指,更换时把废旧手指套扔入指定的收纳盒或垃圾桶内,不需要顺手乱扔,影响车间整洁卫生.
更精密、集成度更高是行业发展的趋势。目前,制造工艺已经进入亚纳米时代,对生产设备的精度要求越来越严格,因此,除了设备本身的工艺水平需要达到生产要求以外,其所处的生产环境——洁净室的各项也被严格地控制,包括:洁净度、温湿度、照度、气流方向、振动静电、磁场以及有害气体等。其中的温湿度控制是重点,其控制的效果直接影响着生产的优良率。
对于来流的洁净度,对通过以上过滤器送风的单向流洁净室来说是不成问题的,而对于来流的“活塞流”情况,则需作进~步分析。根据流体力学原理,来流条件对以后的流动状况将有直接的重要影响,送风面出口气流也就是工作区的来流。来流的紊动性大,则将影响后面的单向流特性;来流未充满流动截面,则将影响后面是否能形成“活塞流”和形成的快慢;而来流未充满流动截面也是来流素动的一个因素。所以,在采用过滤器的条件下,单向流洁净室特性的必要条件是“活塞流”,而“活塞流”的必要条件则是来流充满流动截面。但是,对一间房间而不是一段管道来说,让气流从头至尾充满流动截面也是不现实的。