浙江电子万级无尘室专业规划设计
每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在个以下，就达到了无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米个以内，这也就是业内俗称的1K级别。无尘室、无尘车间若使用吸尘器，对过滤能力，吸尘能力都是有高要求的。加大的HEPA过滤器是基本配置，对颗粒物灰尘物质的过滤芯要求达到99.97%之03.um，吸尘管与接头这些与设备密切接触的部件都是防静电式材质 。
10级这个级别的无尘车间主要用于带宽小于 2微米的半导体工业。1级这个级别的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工 业，对集成电路的要求为亚微米。洁净室是指空气洁净度达到规定级别的可供人活动的空间。其功能是控制微粒（尘埃粒子）的污染。来达到满足精密产品的生产与科学实验活动。合景净化工程公司认为，洁净室不是于"洁净"，不同的行业与部门对温度、温度、照明、噪声、静电、微振都有相当要求的多功能的综合整体，是集建筑装饰（与大气相对隔断的密闭装修）、净化空调、纯水、纯气、动力电、照明电、工艺管道等多种技术于一体的产物，洁净室（或洁净厂房）
洁净室的污染源可分为外污染源及内污染源:外污染源主要包括空调送风、 间隙渗入、建筑物、工作服、风管材料以及一般性气体等;内污染源则包括制程 设备、工作人员、工具、隔间材料、工作桌、加工材料等，其对生产环境的污染净化工程:控制室内空气悬浮粒子的浓度，对室内温度、湿度、压力等按技术要求进行控制;洁净厂房墙壁和顶棚的表面应按要求达到平整、光滑、不 起尘，避免眩光，便于除尘，并减少凹凸面;洁净室地面平整、耐磨、易清洗， 不易积聚静电，避免眩光，不开裂;施工要求对结构、风管制作环境洁净度要求 高;人流、物流的控制严格。没有洁净室，就不可能批量生产污染敏感的零件。在FED-STD-2中，洁净室被定义为具有空气过滤、分布、优化、结构材料和设备的房间，具体的规则操作程序控制空气悬浮颗粒的浓度，以达到适当的颗粒清洁度。