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阀门选用也应考虑不积液的原则，宜使用清洗灭菌方便的旋塞、球阀、隔膜阀、卫生蝶阀、卫生截止阀等。洁净室管道应视其温度及环境条件确定热条件。冷保温管道的保温层外壁温度不得低于环境的露点温度；管道保温层表面须平整、光洁，不散发颗粒，热性能好，材料要易施工，并宜用金属外壳保护。洁净室(区)内的配电设备的管线应暗敷，进入室内的管线口应严格密封，电源插座宜采用嵌入式。洁净室及其技术夹层，技术夹道内应设置灭火设施和消防给水系统。
洁净室温湿度处理基本流程及常见问题洁净室温湿度处理基本流程前摄像头:5.0MP 后摄像头:13.0MP AF半导体洁净室厂房通常采用新风空调箱(Meup Air Unit，MAU)+风机过滤单元(FanFilter Unit，FFU)+干冷盘管(Dry Cooling Coil，DCC)的设计，即新风空调箱MAU将具有一定洁净等级和温湿度的新风送到洁净室的回风通道中，与循环回风进行混合后进入洁净室吊顶上方，通过风机过滤单元FFU
十万级无尘车间对温度、湿度没有特殊要求时，冬季温度一般控制在冬季20—22℃；夏季温度一般控制在24—26℃；允许波动的范围是±2℃。而冬季洁净室湿度控制在30—50％，夏季无尘车间湿度控制在50—70％。
单向流净化车间的性能特性包括:流线平行度，即流线平行的作用是尘源散发的尘粒不作垂直于流向的传播，如果流线是渐变流的曲线，那么其和工作区下限平面的交点以及和下限平面1.05m处的平面的交点之间的连线，与水平方向的倾角应大于65°；乱流度（速度不均匀度），即速度场的集中或离散程度，速度场均匀对于单向流净化车间是其重要的，不均匀的速度场会增加速度的脉动性，促进流线间质点的掺混；下限风速，即净化车间能控制各种污染的较小风速，下限风速是指净化车间能控制以下四种污染的较小风速:当污染气流多方位散布时，送风气流要能有效控制污染的范围。不仅要控制上升高度，还要控制横向扩散距离；当污染气流与送风气流同向时，送风气流能有效地控制污染气流到达下游的扩散范围；当污染气流与送风气流逆向时，送风气流应能将污染气流抑制在必要的距离之内；在全室被污染的情况下，要能以合适的时间迅速使室内空气自净。