内蒙古化工30万级无尘室专业车间施工团队
无尘车间(洁净室)等级大体可以分为十万级、万级、千级、百级、十级。数字越小,洁净等级越高。10级的洁净室净化工程主要用于带宽小于2微米的半导体工业。百级洁净室可用于医工业的无菌制造工艺等,这一洁净室净化工程大量应用于,手术室,包括移植手术,集成器的制造、隔离病房等等。注意控制污染源,主要是人和进入无尘车间的物品,以及生产过程中发生的尘粒。人净路线和物净路线要合理的分开。人员在进车间前沐浴更衣,着装符合洁净标准;物料在进车间前更换包装吹淋,确保洁净度符合要求。
由于每种工艺制程设备的发热量大不相同,导致洁净室内的机台发热量分布不均匀。例如炉管机台的发热量相较于其他设备大得多(基本在3-5倍之间),因此在洁净室内用干盘管DCC带走这些热量。通常要求同一制程的气流经过同一组DCC,在建筑已经确定的情况下,制程的分布要与回风道垂直。如果条件允许,好是将不同制程的区域隔开,这样既可避免金属粒子污染,又能提高温湿度控制的稳定性。通常情况下, 洁净室的温湿度控制在22±2℃,45±5%RH,MAU 的送风温度基本控制在21℃-21.5℃,在与循环风混合后,FFU
十万级无尘车间对温度、湿度没有特殊要求时,冬季温度一般控制在冬季20—22℃;夏季温度一般控制在24—26℃;允许波动的范围是±2℃。而冬季洁净室湿度控制在30—50%,夏季无尘车间湿度控制在50—70%。
新风空调箱送风温度设定值的选取是比较关键的,它能够佳适应当前洁净室内温度的需求。如果给定太高的温度,进入洁净室和循环风混合后,DCC就需要更大量的冷量进行冷却,这就直接导致能源的浪费;如果给定太低的温度,进入洁净室和循环风混合后,即使DCC的开度为零,整个洁净室的温度却仍然太低,这将使得整个洁净室的温度超标。因此,对于MAU新风送风温度设定值的选取是十分重要的,在确保系统在控制范围内并尽可能达到的目的。在此,我们引入模糊控制的思想,通过对洁净室温度偏差及偏差变化率的模糊规则变换,得出新风空调箱送风温度设定值SP。整个程序运行的流程如图7