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非单向流主要是靠送入的洁净空气来冲淡与稀释室内、区内的污染物以维持其洁净度。因此，换气次数越大，气流流型合理，稀释效果越显著，洁净度也相应提高。所以非单相流洁净室、洁净区的送风量及相应的换气次数，是主要关注的气流测试项目。为了获得可重复的读数，记录各测点风速的时间平均值。换气次数:根据洁净室总风量除以法净室的容积求得。洁净室或洁净设施温、湿度测定，通常分为两个档次:一般测试和综合测试。个档次适用于处于空态的交竣验收测试，第二个档次适用于静态或动态的综合性能测试。这类测试适用于对温度、湿度性能要求比较严格的场合。
无尘车间的净化工程是指空气无尘度达到规定级别的受控空间。其功能是把 空气中微粒子、有害空气、细菌等其他污染物排除室外，并将室内无尘度、温度、湿度、室内压力、气流的速度与气流分布、噪音、振动、照明及静电的控制在某一需求范围内。
由于每种工艺制程设备的发热量大不相同，导致洁净室内的机台发热量分布不均匀。例如炉管机台的发热量相较于其他设备大得多(基本在3-5倍之间)，因此在洁净室内用干盘管DCC带走这些热量。通常要求同一制程的气流经过同一组DCC，在建筑已经确定的情况下，制程的分布要与回风道垂直。如果条件允许，好是将不同制程的区域隔开，这样既可避免金属粒子污染，又能提高温湿度控制的稳定性。通常情况下， 洁净室的温湿度控制在22±2℃，45±5%RH，MAU 的送风温度基本控制在21℃-21.5℃，在与循环风混合后，FFU
净化车间压差控制方法基于压差建立的原理，对其影响因素进行有效控制或调节，以便保持净化车间压差的稳定。净化车间压差控制方法分为人为干预调节和自动化控制。人为干预调节净化车间压差方法定期检查并维护洁净厂房围护结构气密性，尽量减少漏风量；定期清洗或更换过滤器，系统正常阻力。回风口控制:是简单而又行之有效的方法，通过调节回风口上的百叶格栅或空气阻尼层改变其阻力来调整回风量，达到压差控制的目的。因百叶的调量不大，还会改变气流方向，所以这种方法只能是粗调。