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洁净室的污染源可分为外污染源及内污染源:外污染源主要包括空调送风、 间隙渗入、建筑物、工作服、风管材料以及一般性气体等;内污染源则包括制程 设备、工作人员、工具、隔间材料、工作桌、加工材料等,其对生产环境的污染净化工程:控制室内空气悬浮粒子的浓度,对室内温度、湿度、压力等按技术要求进行控制;洁净厂房墙壁和顶棚的表面应按要求达到平整、光滑、不 起尘,避免眩光,便于除尘,并减少凹凸面;洁净室地面平整、耐磨、易清洗, 不易积聚静电,避免眩光,不开裂;施工要求对结构、风管制作环境洁净度要求 高;人流、物流的控制严格。
洁净室是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予设计的房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。按照惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是的要求。
十万级无尘车间对温度、湿度没有特殊要求时,冬季温度一般控制在冬季20—22℃;夏季温度一般控制在24—26℃;允许波动的范围是±2℃。而冬季洁净室湿度控制在30—50%,夏季无尘车间湿度控制在50—70%。
辐(矢)流净化车间辐流净化车间的气流是以放射型的流线流出,流线之间没有竖向交叉,可用相对少量的送风获得较高级别的洁净度。辐流净化车间应属于非单向流,但又有比较接近于单向流的效果,而又远比单向流在构造上简单。可提供净化车间、洁净厂房的咨询、规划、设计、施工、安装改造等配套服务。辐流净化车间空态时流线不交叉,流线间横向扩散比较弱,在下风向上角有弱的反向气流,污染在室内的滞留时间短于非单向流净化车间的自净时间;静态时,在障碍物的下风侧或两侧出现涡流区,因此在辐流净化车间中应尽可能避免在流线方向上的障碍。辐流洁净室的气流分布不如单向流净化车间的气流分布均匀,风口和过滤器均比常规风口和过滤器复杂一些,并且在非空态时容易产生涡流区。