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无尘车间,是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。无尘车间拥有不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能的特性。
洁净室又称无尘车间、净化车间,众所周知,环境污染主要是工业污染导致的。其中,空气污染和水污染一方面对人们的身心健康造成危害,另外一方面也会危害加工过程和产品品质。随着经济社会的迅速发展,是以微电子、生物科技、高精密机加为代表的科学试验和高技术生产流程,对企业产品精加工的洁净室总结得出,空间环境对加工过程的影响如下:对加工过程产生重要影响室内环境是牵制工业化生产,是高技术生产能不能进行的首要条件之一。比如,在微电子行业的芯片生产过程中,对微观粒子的控制要达标分子级,不然生产就不能进行,或者生产加工出残品;在抗菌素的生产环境中,要是存在一些微生物菌种,生产就无法正常进行。
洁净室按其气流状态来区分,主要分为乱流(非单向流)洁净室、单向流洁净室和辐流洁净室(也有称矢流洁净室的),这一节主要讨论乱流洁净室。前面已经指出,不论是哪一种洁净室,都是紊流流态。那为什么不都叫紊流洁净室呢?乱流洁净室的名称是借用于日文,但是日文的乱流就是紊流的意思,而中国早在《空气洁净技术措施》中正式采用的乱流一词是兼有紊流的含义而不同于流体力学上的紊流这一专有名词。上惯称这种洁净室为非单向流洁净室。
10万级无尘车间净化工程由满布洁净室吊顶的过滤器向室内送风。气流有如一个空气活塞,向下流经室内,带走污染物,然后从地面排出。又在与外部的一些新鲜空气混合后,再循环至过滤器。人员和工艺所产生的悬浮污染可立即被这种空气清除掉,而紊流通风系统采用的是混合与稀释原理。在一间没有障碍物的空房间,单向流用比前面提到的低得多的风速,就可以很快将污染物清除。但在一个操作间,机器以及机器周围走动的人员,会对气流形成障碍。