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FFU风机过滤单元
FFU为英文缩写，全称为 Fan Filter Units, 中文意思为“风机滤器单元（机组）”，也称空气过滤单元。风机从FFU顶部将空气吸入并经初、过滤器过滤，它为不同尺寸大小，不同洁净度等级的洁净室、微环境提供高质量的洁净空气。各净化工程企业的FFU执行标准略有不同，业内通行的为:过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45M/S±20%的风速匀速送出，但稳定性差距很大。
风淋装置是洁净室进入的缓冲区之一，是控制带尘的最佳净化设备之一，可将员工出入无尘洁净室的污染降到最低。风淋水室的两扇电子互锁，兼有气闸的作用，防止外部污染和未净化空气进入无尘、洁净区，达到生产车间所要求的生产洁净环境。无尘室最主要的作用是控制产品(如硅晶片等)接触空气的清洁度和温湿度，使产品能够在良好的环境中生产、制造，这个空间我们称之为无尘洁净室。
选择符合净化车间特点的建筑结构和材料:净化车间设计时，净化车间墙、顶板一般采用50种mm厚夹层彩钢板具有美观、刚性强的特点。弧角、门、窗框等一般采用的氧化铝型材。地面可采用环氧自流板地板或高耐磨塑料地板，有防静电要求，应选择防静电型。回风管一般采用镀锌钢板，不应选择玻璃棉材料进行保温。照明应选择净化车间的灯具。选择合理的空气净化通风设备，划分布置空调净化排气系统:设计净化系统筹备的原则是相邻二级过滤器的效率不能太接近，也不能相差太大。一般采用初效、中效、亚(或)三级过滤器。
按照洁净度等级分类(GMP):A级(百级)、B级(千级)、C级(万级)、D级(十万级)。净化车间材料是净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造，其特点为美观、刚性强、保温性能好、易施工。圆弧墙角、门、窗框等一般采用氧化铝型材制造地面可采用环氧自流坪地坪或耐磨塑料地板，有防静电要求的，可选用防静电型。送回风管道用热渡锌板制成，贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板送风口用不锈钢框架，美观清洁，冲孔网板用烤漆铝板。