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开度增大以抵消新风带来的热负荷;如果进入洁净室的新风的温度过低，将使得在DCC开度为零时达到环境温度的要求。根据统计数据，空调系统的能耗占整个半导体厂的能耗的30%-35%，因此对空调设备进行优化控制，选择合理温湿度设定值，对提高整个洁净室温湿度控制的稳定性及具有重要的意义。随着半导体生产工艺的不断发展，更精密、集成度更高是行业发展的趋势。目前，制造工艺已经进入亚纳米时代，对生产设备的精度要求越来越严格，因此，除了设备本身的工艺水平需要达到生产要求以外，其所处的生产环境——洁净室的各项也被严格地控制，包括:洁净度、温湿度、照度、气流方向、振动静电、磁场以及有害气体等。其中的温湿度控制是重点，其控制的效果直接影响着生产的优良率。
初，确实认为这种单向平行的气流应该充满整个洁净室，但这在技术上和经济上都是不利的。随着认识的发展，人们又指出这种单向流只是“在有限的领域内空气沿平行流线以匀速流动的意思”，并认为能力抑制涡流的发生。全空间的清洁空气的单向流特性占支配房间，也称为单向流洁净室。这就是说不要求在整个房间都具有单向平行的流线，均匀的速度，没有涡流，而是只要求单向平行流特性在这个房间中占支配。在整个工作区这一层空间了单向流，这个房间就是单向流洁净室。
洁净室又称无尘车间、净化车间，众所周知，环境污染主要是工业污染导致的。其中，空气污染和水污染一方面对人们的身心健康造成危害，另外一方面也会危害加工过程和产品品质。随着经济社会的迅速发展，是以微电子、生物科技、高精密机加为代表的科学试验和高技术生产流程，对企业产品精加工的洁净室总结得出，空间环境对加工过程的影响如下:对加工过程产生重要影响室内环境是牵制工业化生产，是高技术生产能不能进行的首要条件之一。比如，在微电子行业的芯片生产过程中，对微观粒子的控制要达标分子级，不然生产就不能进行，或者生产加工出残品；在抗菌素的生产环境中，要是存在一些微生物菌种，生产就无法正常进行。没有洁净室，就不可能批量生产污染敏感的零件。在FED-STD-2中，洁净室被定义为具有空气过滤、分布、优化、结构材料和设备的房间，具体的规则操作程序控制空气悬浮颗粒的浓度，以达到适当的颗粒清洁度。