天津血站洁净车间20年装修经验公司
在单向流洁净室及单向流净化设备中,可以发现隐蔽的和两个过滤器搭接处下方的反向气流。这种气流将把下方的污染物传输到上部再送下来,破坏了上述“活塞流”的状态,危害大。对于和外界有开口相通的部净化设备,如洁净工作台,这种气流将影响外界污染气流,在设计上一定要减小过滤器边框处所占的无效 面积,更要设法使空间的壁面尽量接近过滤器有效送风截面。通过以上分析,可以认为单向流洁净室特性(高洁净度和自净恢复能力)的先决条件有两个:①来流的洁净度;②来流的活塞流情况。
今天就和大家分享一下具体的检测内容,希望对大家能有所帮助。检测项目有风速风量、换气次数、温湿度、压差、悬浮粒子、浮游菌、沉降菌、噪声、照度等。洁净室、洁净区的洁净度主要是靠送入量的洁净空气,以排替、稀释室内产生的颗粒污染物来实现的。为此,测定洁净室或洁净设施的送风量、平均风速、送风均匀性、气流流向及流型等项目十分必要。单向流主要是依靠洁净气流推挤、排替室内、区内的污染空气以维持室内、区内的洁净度。因此,其送风断面风速及均匀性是影响洁净度的重要参数。较高的、较均匀的断面风速能更快、更有效地排除室内工艺过程产生的污染物,因此它们是主要关注的检测项目。
十万级无尘车间对温度、湿度没有特殊要求时,冬季温度一般控制在冬季20—22℃;夏季温度一般控制在24—26℃;允许波动的范围是±2℃。而冬季洁净室湿度控制在30—50%,夏季无尘车间湿度控制在50—70%。
开度增大以抵消新风带来的热负荷;如果进入洁净室的新风的温度过低,将使得在DCC开度为零时达到环境温度的要求。根据统计数据,空调系统的能耗占整个半导体厂的能耗的30%-35%,因此对空调设备进行优化控制,选择合理温湿度设定值,对提高整个洁净室温湿度控制的稳定性及具有重要的意义。随着半导体生产工艺的不断发展,更精密、集成度更高是行业发展的趋势。目前,制造工艺已经进入亚纳米时代,对生产设备的精度要求越来越严格,因此,除了设备本身的工艺水平需要达到生产要求以外,其所处的生产环境——洁净室的各项也被严格地控制,包括:洁净度、温湿度、照度、气流方向、振动静电、磁场以及有害气体等。其中的温湿度控制是重点,其控制的效果直接影响着生产的优良率。