海东血站仟级无尘车间专业生产厂家
出口湿度的设定值。根据送风露点温度并与露点温度设定值进行比较,通过PID控制算法,得出一个计算值,根据该计算值来确定表冷阀和加湿阀开度的大小,其控制流程与温度控制类似,同时也引入了分程控制,避免临界状态下加湿与之间不断切换而导致的湿度控制的波动。洁净室温度控制洁净室内的温度PID 控制流程如图6 所示,采用的是基本的PID 控制, 由于洁净室本身的大空间而造成的大惯性、大时滞性,在设置PID
为了确保房间的洁净度,有必要避免外面污染气流进入室内,要到达这个意图,房间里有必要保持正压,为了取得所请求的房间压力,有必要补充恰当的新鲜空气。必要时还得安置一些辅佐设备:如新风口的空气指示仪,间隔上的传递窗等,这些设备有必要合适房间的请求,而且有必要真实了解其功用。人和物是洁净室的主要尘源,因而有必要充沛操控,例如:在进入净化房前,的人都要经过人净体系,替换无尘衣,而且要承受净化体系功用的基本教育。
后进入洁净室生产区域,从而基本达到无尘室的温湿度、洁净度及正压度的要求。由于整个洁净室内摆满了各种生产机器,这些机器都保持持续的运转,会产生大量的热量,这些热量又将通过回风通道内的干盘管DCC进行冷却而被带走, 从而达到维持长时间稳定的温湿度环境。对于洁净室的温湿度控制,主要的两块是新风空调箱和干盘管。新风空调箱除了要外界大气经过其中的初、中和过滤网,把空气中的粉尘颗粒过滤掉外,还要根据洁净室里面的温湿度情况调整出风口的温湿度,以送入的新风在规定的温湿度范围内。而干盘管是根据洁净室里面安装的温湿度传感器测量的值来调整干盘管冷水阀的开度,进而调节回风和送风混合后的温湿度,以满足半导体工艺的温湿度需求。
乱流洁净室也叫非单向流洁净室,非单向流洁净室的原理是靠洁净送风气流扩散、混合、不断稀释室内空气,把室内污染逐渐排出,达到平衡。简言之,非单向流洁净室的原理就是稀释作用。 特点:乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净与洁净级别。换气次数决定定义中的净化级别(换气次数越多,净化级别越高)。