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净化车间压差值的选择应适当，选择过小，净化车间压差易被破坏，洁净度受到干扰；选择过大，HVAC系统新风量增大，负荷增加，过滤器寿命缩短。因此，净化车间压差值大小应合理确定（对一般净化车间为正压，生物学净化车间为负压）。净化车间压差是由送入新风量的大小来保持的，即:压差建立的基本原理是送风量大于回风量、排风量、漏风量之和，其中漏风量大小取决于建筑物围护结构的密封程度，如门缝、窗缝、壁板拼缝、各种管线接口等，这些将影响到漏风量的大小，使室内压差很难维持或不稳定。无论是风空气系统，还是循环空气系统，通过净化车间的送入风量与排风量和压差风量（余风量）之间达到平衡便建立了压差。
非单向流净化车间非单向流的净化原理是靠送风气流不断稀释室内空气，把室内污染逐渐排出，达到平衡，即稀释原理。具体来讲，就是利用干净气流的混合稀释作用，把室内含尘浓度很高的空气稀释，使室内污染源所产生的污染物质均匀扩散并及时排出室外，降低室内空气的含尘浓度，使室内的洁净度达到要求。非单向流净化车间的气流流型又可分为顶送下回、顶送下侧回、顶送顶回等。一般形式为过滤器送风口顶部送风；回风的形式有下部回风、侧下部回风和顶部回风等。依不同送风换气次数，实现不同的净化级别，其初投资和运行费用也不同。非单向流净化车间的特性包括:换气次数，与舒适性空调相同；气流组织，即能均匀地送风和回风，充分发挥洁净气流的稀释作用，要求单个风口有的扩散作用，整个净化车间室内风口布置均匀，数量尽可能多，要尽量减少涡流和气流回旋；自净时间，室内从某污染状态降低到某洁净状态所需要的时间，自净时间越短越好。非单向流净化车间自净时间一般不超过30min。
10级这个级别的无尘车间主要用于带宽小于 2微米的半导体工业。1级这个级别的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工 业，对集成电路的要求为亚微米。洁净室是指空气洁净度达到规定级别的可供人活动的空间。其功能是控制微粒（尘埃粒子）的污染。来达到满足精密产品的生产与科学实验活动。合景净化工程公司认为，洁净室不是于"洁净"，不同的行业与部门对温度、温度、照明、噪声、静电、微振都有相当要求的多功能的综合整体，是集建筑装饰（与大气相对隔断的密闭装修）、净化空调、纯水、纯气、动力电、照明电、工艺管道等多种技术于一体的产物，洁净室（或洁净厂房）没有洁净室，就不可能批量生产污染敏感的零件。在FED-STD-2中，洁净室被定义为具有空气过滤、分布、优化、结构材料和设备的房间，具体的规则操作程序控制空气悬浮颗粒的浓度，以达到适当的颗粒清洁度。