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无尘室中的洁净工作台可按产品要求或其它使用方法的要求,进行高清洁净度的局部净化操作。它能在操作台的局部空间内形成无菌、无尘的局部净化,它的主要组成部分包括预滤器、髙效过滤器、风扇单元、外壳、静压箱、台面及辅助电器元件等。
无尘车间也叫洁净厂房、洁净室(Clean Room)、无尘室,是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予设计之房间。无尘净化车间是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予设计建成的无尘洁净房间。
按所输送物料性质安排管道。管道应集中敷设,冷热管要隔开布置,在垂直排列时,热介质管在上,冷介质管在下;无腐蚀性介质管在上,有腐蚀性介质管在下;气体管在上,液体管在下;不经常检修管在上,检修频繁管在下;高温管在上,低温管在下;保温管在上,不保温管在下;金属管在上,非金属管在下。水平排列时,粗管靠墙,细管在外;低温管靠墙,热管在外,不耐热管应与热管避开;无支管的管在内,支管多的管在外;不经常检修的管在内,经常检修的管在外;高压管在内,低压管在外;输送有腐蚀性介质的管道,不得在人行通道上方设置阀件、法兰等,以免渗漏伤人;输送介质的管道,不得敷设在生活间、楼梯间和走廊等处;管道通过防破区时,墙壁应采取措施封固,蒸汽或气体管道应从主管上部引出支管。
洁净室:无尘车间、空调净化、洁净室、万级净化、超洁净室、洁净无尘无菌净化工程,洁净室是指去除空气中的颗粒、有害空气、细菌等一定空间内的空气 消除污染物,将室内温度、洁净度、室内压力、风速和气流分布、噪声、振动、采光、静电等控制在一定要求范围内,并给予专门设计的房间。即无论外界空气条件如何变化,房间都可以保持原来设定的洁净度、温度、湿度和压力要求。洁净室的主要作用是控制产品(如硅片等)接触的大气的洁净度、温度和湿度,使产品在良好的环境空间内生产制造.这个空间被称为洁净室。