海东生物10万级净化车间专业规划设计
目前半导体洁净室对温湿度的控制范围通常为:温度22±2℃，湿度45±5%RH。本文通过对现有洁净室温湿度控制系统的研究，引入模糊控制，以提高温湿度控制的实际效果。温湿度控制系统实现基本上， 现在洁净室温湿度要求为22±2℃，45±5%RH，当然根据生产工艺的需求，对温湿度的要求也不尽相同。新风空调箱的温湿度控制新风空调箱基本结构新风空调箱基本结构如图3 所示，其处理流程如下:空气过滤———包括初效、中效、三部分;温度处理———包括预热盘管、一次表冷盘管、再热盘管三部分;
无尘车间的净化工程是指空气无尘度达到规定级别的受控空间。其功能是把 空气中微粒子、有害空气、细菌等其他污染物排除室外，并将室内无尘度、温度、湿度、室内压力、气流的速度与气流分布、噪音、振动、照明及静电的控制在某一需求范围内。
无尘车间内的洁净工作台可根据产品要求或其他用途的要求，在操作台上保持高洁净度的部净化。洁净工作台可以在操作台的部空间形成无菌、无尘的部净化，其主要组成部件有预过滤器、过滤器、风机机组、外壳、静压箱、台面和配套的电器元器件等。无尘车间的洁净工作台的构造要求:台面，采用木质塑料贴面贴于层压板上做成台面，或采用不锈钢做台面;箱体，用热扎薄钢板与骨架气焊易变形，可采用冷轧薄板折边搭接，大电流电焊，内表面需粘贴消声材料，大尺寸应以通过一般房门为宜;箱体密封，缝隙均采用密封胶密封;操作区截面应尽可能与空气过滤器送风截面相同，尽量减少盲区;风机、电机，选用高压低噪的小型风机，风机与箱体的连接采用软连接，电机及风机均应采取减振措施;灯罩，日光灯要尽量设置在灯罩内，灯罩内要通过洁净气流;预过滤器，须设置预过滤器，容量要大，在使用风量下，初阻力宜小于50Pa;过滤器，尽量采用大面积的过滤器，减少空气过滤器的数量，过滤器与框架之间的密封应采用封导结合的双环密封系统。
阀门选用也应考虑不积液的原则，宜使用清洗灭菌方便的旋塞、球阀、隔膜阀、卫生蝶阀、卫生截止阀等。洁净室管道应视其温度及环境条件确定热条件。冷保温管道的保温层外壁温度不得低于环境的露点温度；管道保温层表面须平整、光洁，不散发颗粒，热性能好，材料要易施工，并宜用金属外壳保护。洁净室(区)内的配电设备的管线应暗敷，进入室内的管线口应严格密封，电源插座宜采用嵌入式。洁净室及其技术夹层，技术夹道内应设置灭火设施和消防给水系统。