西宁玻璃洁净车间设备专业规划设计
每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在个以下,就达到了无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米个以内,这也就是业内俗称的1K级别。无尘室、无尘车间若使用吸尘器,对过滤能力,吸尘能力都是有高要求的。加大的HEPA过滤器是基本配置,对颗粒物灰尘物质的过滤芯要求达到99.97%之03.um,吸尘管与接头这些与设备密切接触的部件都是防静电式材质 。
新风空调箱送风温度设定值的选取是比较关键的,它能够佳适应当前洁净室内温度的需求。如果给定太高的温度,进入洁净室和循环风混合后,DCC就需要更大量的冷量进行冷却,这就直接导致能源的浪费;如果给定太低的温度,进入洁净室和循环风混合后,即使DCC的开度为零,整个洁净室的温度却仍然太低,这将使得整个洁净室的温度超标。因此,对于MAU新风送风温度设定值的选取是十分重要的,在确保系统在控制范围内并尽可能达到的目的。在此,我们引入模糊控制的思想,通过对洁净室温度偏差及偏差变化率的模糊规则变换,得出新风空调箱送风温度设定值SP。整个程序运行的流程如图7
十万级无尘车间对温度、湿度没有特殊要求时,冬季温度一般控制在冬季20—22℃;夏季温度一般控制在24—26℃;允许波动的范围是±2℃。而冬季洁净室湿度控制在30—50%,夏季无尘车间湿度控制在50—70%。
无尘车间洁净室,亦称为无尘室,是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力。洁净技术,是指对象(产品、人 及动物)在被加工、处置、治疗、防护及实验等过程中,对其所处环境内玷污物 (影响对象的加工、处置、治疗等质量、合格率或成功率的物质)进行控制的技术,是一门以生产与研究工作受环境因素的干扰和影响,保护产品或研究对象不受有害物质污染为核心内容的新兴技术。