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增加了公制单位,洁净室等级以‵M′字头表示,如M1、M1.5、M2.5、M3….以此类推,配合公制单位之标准化,M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示,取指数为之,若微尘粒子数介于前后二者幂次方之间,则以1.5、2.5、3.5….表示。美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英尺为单位,日本则是采用公制,即以每立方公尺为单位,以0.1μm微粒子为计数标准。日本标准之表示法以Class 1,Class 2,Class 3……Class8表示,度的等级为Class 1,差则为Class 8,以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方,取其指数而得。
垂直单向流净化车间包括垂直单向流满布过滤器+格栅回风、垂直单向流满布孔板+格栅回风、垂直单向流满布阻尼层+格栅回风、垂直单向流两侧下回风+过滤器送风、垂直单向流两侧下回风+孔板送风、垂直单向流两侧下回风+阻尼层送风、垂直单向流+周边压出式回风+满布过滤器送风、无气幕部垂直单向流、有围挡壁的部垂直单向流。水平单向流净化车间包括水平单向流直回式、水平单向流隧道式、全侧墙回风式/全地面回风式/侧墙和地板组合回风式、水平单向流一侧回式、水平单向流双侧回式、水平单向流上回风式、水平单向流对送式。
管道尽可能沿厂房墙壁安装,管与管间及管与墙间的距离以能容纳活接头或法兰,便于检修为度。一般管路的较突出部分距墙不少于100mm;两管道的较突出部分间距离,对中压管道约40~60mm,对高压管道约70~90mm。由于法兰易泄漏,故除与设备或阀门采用法兰连接外,其他应采用对焊连接,但镀锌钢管不允许用焊接,DN≤50mm可用螺纹连接。工业洁净车间内的管道设计在工业洁净车间内,系统的主管应布置在技术夹层、技术夹道或技术竖井中。夹层系统中有空气净化系统管线,这种系统管线的特点是管径大,管道多且广,是工业洁净车间技术夹层中起主导作用的管道,管道的走向直接受空调机房位置、逆回风方式、系统的划分等三个因素的影响,而管道的布置是否理想又直接影响技术夹层。没有洁净室,就不可能批量生产污染敏感的零件。在FED-STD-2中,洁净室被定义为具有空气过滤、分布、优化、结构材料和设备的房间,具体的规则操作程序控制空气悬浮颗粒的浓度,以达到适当的颗粒清洁度。