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无尘车间(洁净室)等级大体可以分为十万级、万级、千级、百级、十级。数字越小,洁净等级越高。10级的洁净室净化工程主要用于带宽小于2微米的半导体工业。百级洁净室可用于医工业的无菌制造工艺等,这一洁净室净化工程大量应用于,手术室,包括移植手术,集成器的制造、隔离病房等等。注意控制污染源,主要是人和进入无尘车间的物品,以及生产过程中发生的尘粒。人净路线和物净路线要合理的分开。人员在进车间前沐浴更衣,着装符合洁净标准;物料在进车间前更换包装吹淋,确保洁净度符合要求。
净化工程通俗称为无尘车间、净化车间、洁净室等名称;其主要原理是将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动、照明、静电控制在所需求范围内。主要是对洁净度、温度、湿度的控制,提升作业环境,提高产品良率。无尘净化车间包含6个部分,分别是:1.天花板系统,包含主梁和无尘室顶部部门;2.空调系统:包括空气舱、过滤器系统、风车等;3.隔墙板:包括窗户、门;4.地面:比如防静电地面、以及环氧自流平及滚涂地面;5.照明器具:包括日光灯等;6.无尘室之建筑主体构造:一般可以用钢筋或骨水泥,近年来人们发现了的主体构造,那就是工业铝型材。
洁净车间(洁净室)是一个企业的核心,是空气达到一定级别的可供人活动或生产工作的空间,其功能室控制微粒子和微生物的污染。洁净室的洁净不是一般的干净,而是达到了一定空气洁净度级别。洁净车间(洁净室)按照用途分类分为工业洁净室和生物洁净室,按气流形式分类分为单项流洁净室、非单项流洁净室、混合流洁净室、辐(矢)流洁净室等。
所谓的无尘室是一个人造的环境,里面含有的粒子远低于一般的环境,随着集成电路的级数的成长,也增加了对制造环境(无尘室)洁净度要求,在工业上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。优于纳米技术的兴起,造成半导体关键尺寸持续缩小,集成电路积集度不断地增加,尘粒更容易使芯片失效或度恶化。例如当金属尘粒落到金属导线时,就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上,可能将其腐蚀,所以无尘室为集成电路制造的要素。