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使用经批准的洁净室清洁剂;每天检查车间和维修间的垃圾箱,并及时清理。用吸尘器清扫每一层楼。在每次轮班期间,应在地图上标明工作的完成情况,如在何处结束和从何处开始。应使用拖把清洁洁净室的地板。洁净室除尘采用带过滤器的真空吸尘器。的门都需要检查并擦干。吸完地板后再擦。每周擦一次墙。在活动地板下除尘并擦拭。活动地板下的立柱和支柱每三个月擦拭一次。工作时,您记住,它总是从上到下,从门的远位置到门的方向擦拭。
乱流洁净室的主要特点是从来流到出流(从送风口到回风口)之间气流的流通截面是变化的,洁净室截面比送风口截面大得多,因而不能在全室截面或者在全室工作区截面形成匀速气流。所以,送风口以后的流线彼此有很大或者越来越大的夹角,曲率半径很小,气流在室内不可能以单一方向流动,将会彼此撞击,将有回流、旋涡产生。这就决定乱流洁净室的流态实质是:突变流;非均匀流。这比用紊流来描述乱流洁净室更确切、更全面。紊流主要决定于雷诺数,也就是主要受流速的影响,但是如果采用一个过滤器顶送的送风形式,则即使流速低,也要产生上述各种结果,这就因为它是一个突变流和非均匀流。因此这种情况下不流层之间因紊流流动而发生的掺混,而且还有全室范围内的大的回流、旋涡所发生的掺混。
每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了无尘标准的A级。芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。0.5uM及以下的微尘数量被严格控制在每立方英寸1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。空态:已经建造完成并可以投入使用的洁净室(设施)。它具备有关的服务和功能。但是,在设施内没有操作人员操作的设备。没有洁净室,就不可能批量生产污染敏感的零件。在FED-STD-2中,洁净室被定义为具有空气过滤、分布、优化、结构材料和设备的房间,具体的规则操作程序控制空气悬浮颗粒的浓度,以达到适当的颗粒清洁度。