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因此,在确定恒温室参数(parameter)和选择自动控制时,考虑工件恒温恒湿车间、围护结构、空气处理设备和自控系统之间的动态特性。防尘车间是指控制产品 (如硅芯片等) 所接触大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。此环境空间的设计施工过程即可称为净化工程。在电子行业制造车间是重要产生静电的地方,通常静电会对产品造成短路甚至会造成员工导电晕倒事故,所以电子行业的无尘车间相对湿度不应低于30%,这样即可以减少静电的产生,通常建议无尘车间的防静电区域相对湿度不低于50%。无尘室优点:构造简单、系统建造成本低,洁净室的扩充比较容易,在某些用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级。过于干燥的空气中易粉尘飞扬,电子厂无尘车间无要求的情况下,温度控制在22℃左右,相对湿度控制在55~60%RH之间,在这种环境下,人们感觉舒适,静电也消失了。
引入洁净室(区)的支管宜暗敷,各种明设管道不得出现不易清洁的部位,洁净室内的管道应排列整齐,尽量减少洁净室内的阀门、管件和管道支架;各种给水管道宜竖向布置,在靠近用水设备附近横向引入,尽量不在设备上方布置横向管道,水在横管上滞留;从竖管上引出支管的距离宜短,一般不宜超过支管直径的6倍;排水竖管不应穿过洁净度要求高的房间,须穿过时,竖管上不得设置检查口,管道弯曲半径宜大不宜小。地下管道应在地沟管槽或地下埋设,技术夹层主管上的阀门、法兰和接头不宜设在技术层内,其管道连接应采用焊接,这些主管的放净口、吹扫口等均应布置在技术夹层之外。穿越洁净室的墙、楼板、硬吊顶的管道应敷设在预埋的金属套管中,管道与套管间应有密封措施。
这个系统中,工艺管道主要包括净化水系统和物料系统,这个系统的水平管线大都是布置在技术夹层内。一些需要经常清洗灭菌的管道应采用可拆式活接头,并宜明敷。公用工程管线气体管道中除煤气管道明装外,一般上水、下水、动力、空气、照明、通信、自控、气体等管道均可将水平管道布置在技术夹层中。工业洁净车间内的电气线路一般宜采用电源桥架敷线方式,这样有利于检修,有利于工业洁净车间布置的调整。暗敷管道的常见方式有技术夹层和管道竖井以及技术走廊。
乱流洁净室也叫非单向流洁净室,非单向流洁净室的原理是靠洁净送风气流扩散、混合、不断稀释室内空气,把室内污染逐渐排出,达到平衡。简言之,非单向流洁净室的原理就是稀释作用。 特点:乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净与洁净级别。换气次数决定定义中的净化级别(换气次数越多,净化级别越高)。